Полупроводникот VeTek е водечки производител на материјали за обложување со тантал карбид за индустријата за полупроводници. Нашите главни понуди на производи вклучуваат делови за обложување со CVD тантал карбид, делови за обложување со синтеруван TaC за раст на SiC кристали или процес на полупроводничка епитаксија. Положен ISO9001, VeTek Semiconductor има добра контрола на квалитетот. VeTek Semiconductor е посветен да стане иноватор во индустријата за обложување со тантал карбид преку тековно истражување и развој на итеративни технологии.
Главните производи сеТантал карбид премачкување дезертериски прстен, TaC обложен прстен за пренасочување, TaC обложени полумесечини делови, Планетарен ротационен диск обложен со тантал карбид (Aixtron G10) , Тас обложен сад; TaC обложени прстени; Порозен графит обложен со TaC; Тантал карбид обвивка од графит сусцептор; Прстен за водич обложен со TaC; TaC плоча обложена со тантал карбид; TaC обложен нафора чувствителни; TaC обложување прстен; TaC облога од графитен капак; Парче обложено со TaCитн., чистотата е под 5 ppm, може да ги задоволи барањата на клиентите.
Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD). Предноста е прикажана на сликата подолу:
Облогата од тантал карбид (TaC) привлече внимание поради високата точка на топење до 3880°C, одличната механичка цврстина, цврстина и отпорност на термички удари, што го прави атрактивна алтернатива на сложените полупроводнички епитаксии со повисоки температурни барања. како што се Aixtron MOCVD системот и LPE SiC епитаксискиот процес. Исто така, има широка примена во PVT методот SiC процес на раст на кристалите.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Отпорност на H2, NH3, SiH4, Si
●Отпорност на термички залихи
●Силна адхезија на графит
●Конформална покриеност со облога
● Големина до дијаметар до 750 mm (единствениот производител во Кина ја достигнува оваа големина)
● Индуктивен подлога за загревање
● Отпорен грејач
● Топлински штит
Физички својства на TaC облогата | |
Густина | 14,3 (g/cm³) |
Специфична емисионост | 0.3 |
Коефициент на термичка експанзија | 6,3 10-6/К |
Цврстина (HK) | 2000 HK |
Отпор | 1×10-5Ом * см |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Големината на графитот се менува | -10-20 мм |
Дебелина на облогата | ≥20um типична вредност (35um±10um) |
Елемент | Атомски процент | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Просечна | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Плочата за ротација TaC облога на VeTek Semiconductor може да се пофали со извонредна TaC облога, со својот исклучителен TaC слој, TaC Coating Rotation Plate се пофали со извонредна отпорност на висока температура и хемиска инертност, што го издвојува од традиционалните решенија. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи на конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеTaC облогата на VeTek Semiconductor's TaC е извонреден производ кој нуди исклучителни карактеристики и предности. Дизајнирана со прецизност и конструирана до совршенство, нашата TaC плоча за обложување е специјално прилагодена за различни апликации во процесите на раст на еднокристално силициум карбид (SiC). и ефикасно работење. Неговите сигурни перформанси и висококвалитетна облога придонесуваат за конзистентни и униформни резултати во апликациите за раст на SiC кристалите. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеCVD TaC прекривката за обложување обезбедена од VeTek Semiconductor е високо специјализирана компонента дизајнирана специјално за тешки апликации. Со своите напредни карактеристики и исклучителни перформанси, нашата обвивка CVD TaC нуди неколку клучни предности. Нашиот CVD TaC облога ја обезбедува потребната заштита и перформанси потребни за успех. Со нетрпение очекуваме да ја истражиме потенцијалната соработка со вас!
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor е исклучителен производ за опремата за епитаксии на Aixtron. Цврстата облога TaC обезбедува одлична отпорност на висока температура и хемиска инертност. Оваа уникатна комбинација обезбедува сигурни перформанси и долг работен век, дури и во опкружувања со тешки барања. VeTek е посветен на обезбедување производи со висок квалитет и служи како долгорочен партнер на кинескиот пазар со конкурентни цени.
Прочитај повеќеИспрати барањеПлочата за поддршка на подлогата за обложување TaC на VeTek Semiconductor е високопрецизен производ дизајниран да ги задоволи специфичните барања на процесите на полупроводничка епитаксија. Со својата обвивка TaC, отпорност на висока температура и хемиска инертност, нашиот производ ви дава моќ да произведувате висококвалитетни EPI слоеви со висок квалитет. Посветени сме на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеЧак за обложување TaC на VeTek Semiconductor се одликува со висококвалитетна TaC обвивка, позната по својата извонредна отпорност на висока температура и хемиска инертност, особено во процесите на епитаксија на силициум карбид (SiC) (EPI). Со своите исклучителни карактеристики и супериорни перформанси, нашиот чак за обложување TaC нуди неколку клучни предности. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање