Плочата за ротација TaC облога на VeTek Semiconductor може да се пофали со извонредна TaC облога, со својот исклучителен TaC слој, TaC Coating Rotation Plate се пофали со извонредна отпорност на висока температура и хемиска инертност, што го издвојува од традиционалните решенија. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи на конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Ротациона плоча за обложување TaC на VeTek Semiconductor има состав со висока чистота, содржина на нечистотија помала од 5 ppm и густа и униформа структура, која е широко користена во системите LPE EPI, системите Aixtron, системи Nuflare, TEL CVD системи, VEECO системи, TSI системи.
Одлични механички својства:
Тврдост на облогата до 2300HV, со одлична отпорност на абење.
Адхезијата помеѓу облогата и подлогата е силна и не е лесно да падне или да се олупи.
Облогата сè уште може да одржува добра структурна стабилност при висока температура.
Одлична отпорност на корозија:
Самиот материјал TaC има одлична хемиска стабилност и отпорност на корозија.
Полупроводничките облоги на VeTek добро функционираат во различни агресивни средини со гас.
Може ефикасно да ги заштити внатрешните компоненти на опремата од оштетување од корозија.
Висока завршна површина:
Полупроводникот VeTek користи прецизен процес на обложување за да ја произведе посакуваната завршница.
Ниската грубост на површината помага да се намали акумулацијата и таложењето на честичките.
Конзистентноста на облогата е добра:
Полупроводник VeTekима систем за контрола на квалитетот на звукот за да обезбеди постојани перформанси помеѓу сериите.
Дебелината на облогата е рамномерно распоредена и нема очигледни локални дефекти.
Одлични практични перформанси на апликацијата:
TaC облогата на полупроводникот VeTek е широко користен кај многу познати производители на епитаксиална опрема дома и во странство.
Физички својства на TaC облогата | |
Густина | 14,3 (g/cm³) |
Специфична емисионост | 0.3 |
Коефициент на термичка експанзија | 6,3 10-6/К |
Цврстина (HK) | 2000 HK |
Отпор | 1×10-5Ом * см |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Големината на графитот се менува | -10-20 мм |
Дебелина на облогата | ≥20um типична вредност (35um±10um) |