Кина Силициум нитрид Производител, добавувач, фабрика

VeTek Semiconductor се фокусира на производство на силикон нитрид и има тим за истражување и развој составен од високи експерти и врвни технички таленти. Керамиката со силикон нитрид ги има предностите на цврстина, отпорност на топлина, отпорност на абење и отпорност на корозија на општите керамички материјали и ги има предностите на добра отпорност на термички шок, отпорност на лази на високи температури, добро само-подмачкување и добра хемиска стабилност и се широко распространети. се користи во областа на новата енергија, хемиската индустрија, воздушната и полупроводничките полиња.

Материјалите од силикон нитрид на VeTek Semiconductor ги имаат следните истакнати предности:

1. Одлична хемиска стабилност

Керамиката со силициум нитрид има одлична хемиска стабилност и може да издржи различни силни киселини, алкали и корозивни гасови. Во процесот на производство на полупроводници, честопати треба да се справи со корозивни хемикалии, керамиката со силикон нитрид може да обезбеди долгорочна стабилна гаранција за изведба.

2. Одлични механички својства

Керамиката со силициум нитрид има висока цврстина, одлична цврстина на притисок и отпорност на абење, способна да издржи механички стрес и абење на површината, не е лесно да се деформира или пука. Ова механичко својство го прави многу погоден како материјал за структурни и процесни делови во полупроводничка опрема.

3. Стабилност на висока температура

Керамиката со силициум нитрид може да одржува стабилност во средини со висока температура, не е лесно да се омекне или топи и може да издржи обработка и ракување со висока температура во процесот на производство на полупроводници. Ова му овозможува да се користи во производството на клучните компоненти на процесна опрема за висока температура, како што се држачи, компоненти на комората за реакција и така натаму.

4. Одлични изолациски својства

Изолационите својства се клучни во производството на полупроводнички уреди. Керамиката со силициум нитрид има добри изолациски својства, кои можат ефикасно да ги изолираат и заштитат компонентите на колото од тековно истекување или електромагнетни пречки, помагајќи да се подобри стабилноста и доверливоста на уредот.

5. Топлинска спроводливост и топлинска спроводливост

Керамиката со силициум нитрид има висока топлинска спроводливост, може ефикасно да ја спроведе и да ја исфрли топлината генерирана од уредот, помагајќи да се одржи температурната стабилност на уредот во работниот процес. Ова е од клучно значење за работата на полупроводничките уреди со високи перформанси.

Примените на материјалите од силикон нитрид на VeTek Semiconductor во соларната и полупроводничката индустрија главно вклучуваат:

1. Електростатски чаши и компоненти на комората за офорт

Керамиката со силициум нитрид често се користи како материјали за електростатички чаши и компоненти на комората за офорт во производството на полупроводници поради нивната одлична хемиска стабилност и отпорност на високи температури. Електростатските капаци се користат за фиксирање и стабилизирање на наполитанки или подлоги, додека компонентите на комората за офорт се користат за да издржат корозивни гасови и средини со висока температура.

2. дистрибутивни плочи и рефлектори на гас

Керамиката со силициум нитрид се користи и во производството на полупроводничка опрема во плочите за дистрибуција на гас и рефлекторите. Плочите за дистрибуција на гас се користат за рамномерно дистрибуирање на реактивни или заштитни гасови во комората за реакција, додека рефлектори се користат за оптимизирање на дистрибуцијата и одразот на светлината во комората за реакција за да се подобри ефикасноста и униформноста на реакцијата.

3. Држачи и термички компоненти

Керамиката со силикон нитрид често се користи како држачи и компоненти за термичко управување во опремата за производство на полупроводници. Овие компоненти треба да имаат добра механичка сила, отпорност на абење и топлинска спроводливост за да се обезбеди стабилна работа на опремата и прецизност на обработката на уредот.

4. Влошки за хемиско механичко полирање (CMP).

Керамиката со силикон нитрид е широко користена како материјал за подлога во процесот на хемиско механичко полирање (CMP). Има одлична плошност и отпорност на абење и може да обезбеди стабилна поддршка за време на процесот на полирање за да се обезбеди плошноста и прецизноста на површината на полупроводничката обланда.