Полупроводникот VeTek е водечки производител на материјали за обложување со тантал карбид за индустријата за полупроводници. Нашите главни понуди на производи вклучуваат делови за обложување со CVD тантал карбид, делови за обложување со синтеруван TaC за раст на SiC кристали или процес на полупроводничка епитаксија. Положен ISO9001, VeTek Semiconductor има добра контрола на квалитетот. VeTek Semiconductor е посветен да стане иноватор во индустријата за обложување со тантал карбид преку тековно истражување и развој на итеративни технологии.
Главните производи сеТантал карбид премачкување дезертериски прстен, TaC обложен прстен за пренасочување, TaC обложени полумесечини делови, Планетарен ротационен диск обложен со тантал карбид (Aixtron G10) , Тас обложен сад; TaC обложени прстени; Порозен графит обложен со TaC; Тантал карбид обвивка од графит сусцептор; Прстен за водич обложен со TaC; TaC плоча обложена со тантал карбид; TaC обложен нафора чувствителни; TaC обложување прстен; TaC облога од графитен капак; Парче обложено со TaCитн., чистотата е под 5 ppm, може да ги задоволи барањата на клиентите.
Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD). Предноста е прикажана на сликата подолу:
Облогата од тантал карбид (TaC) привлече внимание поради високата точка на топење до 3880°C, одличната механичка цврстина, цврстина и отпорност на термички удари, што го прави атрактивна алтернатива на сложените полупроводнички епитаксии со повисоки температурни барања. како што се Aixtron MOCVD системот и LPE SiC епитаксискиот процес. Исто така, има широка примена во PVT методот SiC процес на раст на кристалите.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Отпорност на H2, NH3, SiH4, Si
●Отпорност на термички залихи
●Силна адхезија на графит
●Конформална покриеност со облога
● Големина до дијаметар до 750 mm (единствениот производител во Кина ја достигнува оваа големина)
● Индуктивен подлога за загревање
● Отпорен грејач
● Топлински штит
Физички својства на TaC облогата | |
Густина | 14,3 (g/cm³) |
Специфична емисионост | 0.3 |
Коефициент на термичка експанзија | 6,3 10-6/К |
Цврстина (HK) | 2000 HK |
Отпор | 1×10-5Ом * см |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Големината на графитот се менува | -10-20 мм |
Дебелина на облогата | ≥20um типична вредност (35um±10um) |
Елемент | Атомски процент | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Просечна | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Како водечки производител и добавувач на TaC обложени производи со прстени во Кина, VeTek Semiconductor се фокусира на истражување и развој и производство на различни производи за обложување TaC. Како главни клиенти на производите на TaC Coating, европските и американските производители дадоа високи пофалби за нашите производи за обложување. Добредојдовте на вашата понатамошна консултација.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е кинеска компанија која е светски производител и снабдувач на GaN Epitaxy сусцептор. Долго време работиме во индустријата за полупроводници како што се премази со силициум карбид и сензор GaN Epitaxy. Можеме да ви обезбедиме одлични производи и поволни цени. VeTek Semiconductor со нетрпение очекува да стане ваш долгорочен партнер.
Прочитај повеќеИспрати барањеeTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor е графитна фиока обложена со тантал карбид за епитаксијален раст на силициум карбид за подобрување на квалитетот и перформансите на нафората. VeTek е избран поради неговата напредна технологија за обложување и издржливи решенија за да се обезбедат одлични резултати на епитаксијата на SiC и продолжен животен век на сензорот, добредојдени ги вашите понатамошни прашања.
Прочитај повеќеИспрати барањеКако водечки производител на TaC Coating Guide Rings производи во Кина, VeTek Semiconductor TaC обложените водечки прстени се важни компоненти во опремата MOCVD, обезбедувајќи точна и стабилна испорака на гас за време на епитаксијален раст и се незаменлив материјал во полупроводнички епитаксијален раст. Добредојдовте да се консултирате со нас.
Прочитај повеќеИспрати барањеКако професионален иноватор и лидер на производите со обложени прстени со тантал карбид во Кина, полупроводничкиот прстен со тантал карбид обложен VeTek игра незаменлива улога во растот на SiC кристалите со неговата одлична отпорност на високи температури, отпорност на абење и одлична топлинска спроводливост. Добредојдовте на вашата понатамошна консултација.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на производи од порозен тантал карбид во Кина. Порозниот тантал карбид обично се произведува со метод на хемиско таложење на пареа (CVD), со што се обезбедува прецизна контрола на големината и дистрибуцијата на порите, и е материјална алатка посветена на високи температури екстремни средини. Добредојдовте на вашата понатамошна консултација.
Прочитај повеќеИспрати барање