Полупроводникот VeTek е водечки производител на материјали за обложување со тантал карбид за индустријата за полупроводници. Нашите главни понуди на производи вклучуваат делови за обложување со CVD тантал карбид, делови за обложување со синтеруван TaC за раст на SiC кристали или процес на полупроводничка епитаксија. Положен ISO9001, VeTek Semiconductor има добра контрола на квалитетот. VeTek Semiconductor е посветен да стане иноватор во индустријата за обложување со тантал карбид преку тековно истражување и развој на итеративни технологии.
Главните производи сеТантал карбид премачкување дезертериски прстен, TaC обложен прстен за пренасочување, TaC обложени полумесечини делови, Планетарен ротационен диск обложен со тантал карбид (Aixtron G10) , Тас обложен сад; TaC обложени прстени; Порозен графит обложен со TaC; Тантал карбид обвивка од графит сусцептор; Прстен за водич обложен со TaC; TaC плоча обложена со тантал карбид; TaC обложен нафора чувствителни; TaC обложување прстен; TaC облога од графитен капак; Парче обложено со TaCитн., чистотата е под 5 ppm, може да ги задоволи барањата на клиентите.
Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD). Предноста е прикажана на сликата подолу:
Облогата од тантал карбид (TaC) привлече внимание поради високата точка на топење до 3880°C, одличната механичка цврстина, цврстина и отпорност на термички удари, што го прави атрактивна алтернатива на сложените полупроводнички епитаксии со повисоки температурни барања. како што се Aixtron MOCVD системот и LPE SiC епитаксискиот процес. Исто така, има широка примена во PVT методот SiC процес на раст на кристалите.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Отпорност на H2, NH3, SiH4, Si
●Отпорност на термички залихи
●Силна адхезија на графит
●Конформална покриеност со облога
● Големина до дијаметар до 750 mm (единствениот производител во Кина ја достигнува оваа големина)
● Индуктивен подлога за загревање
● Отпорен грејач
● Топлински штит
Физички својства на TaC облогата | |
Густина | 14,3 (g/cm³) |
Специфична емисионост | 0.3 |
Коефициент на термичка експанзија | 6,3 10-6/К |
Цврстина (HK) | 2000 HK |
Отпор | 1×10-5Ом * см |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Големината на графитот се менува | -10-20 мм |
Дебелина на облогата | ≥20um типична вредност (35um±10um) |
Елемент | Атомски процент | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Просечна | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Прстенот за обложување CVD TaC на VeTek Semiconductor е многу поволна компонента дизајнирана да ги задоволи барањата на силициум карбид (SiC) на кристалните процеси на раст. Прстенот за обложување CVD TaC обезбедува извонредна отпорност на висока температура и хемиска инертност, што го прави идеален избор за средини кои се карактеризираат со покачени температури и корозивни услови. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеLPE SiC Epi Halfmoon од VeTek Semiconductor, револуционерен производ дизајниран да ги подигне процесите на епитаксијата на SiC на реакторот LPE. Ова врвно решение може да се пофали со неколку клучни карактеристики кои обезбедуваат супериорни перформанси и ефикасност во текот на вашите производствени операции. Со нетрпение очекуваме да воспоставиме долгорочна соработка со вас.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки снабдувач на TaC облоги и делови од графит за обложување SiC. Специјализирани сме за производство на најсовремени LED EPI чувствителни сусцептори, суштински за процесите на ЛЕД епитаксија. Со силен фокус на иновациите и квалитетот, нудиме сигурни решенија кои ги задоволуваат строгите барања на индустријата за ЛЕР. Контактирајте не денес за да разговараме за вашите прашања и да откриете како нашите производи можат да ги подобрат вашите производни процеси.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е сеопфатен снабдувач вклучен во истражување, развој, производство, дизајн и продажба на TaC премази и делови за обложување SiC. Нашата експертиза лежи во производството на најсовремениот MOCVD Susceptor со TaC облога, кој игра витална улога во процесот на ЛЕД епитаксија. Ве поздравуваме да разговарате со нас за прашања и дополнителни информации.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е интегриран снабдувач ангажиран во истражување и развој, производство, дизајн и продажба на TaC премази. Специјализирани сме за производство на врвни TaC обложени UV LED чувствителни, кои се клучни компоненти во процесот на ЛЕД епитаксија. Нашиот TaC обложен длабоко UV LED сусцептор нуди висока топлинска спроводливост, висока механичка цврстина, подобрена ефикасност на производството и епиаксијална заштита од обланда. Добредојдовте да не прашате.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител и снабдувач во Кина за полумесечина обложена со тантал карбид TaC, ние сме специјализирани за истражување и развој и производство, можеме добро да го контролираме квалитетот и да понудиме конкурентна цена. Добредојдени сте да ја посетите нашата фабрика за понатамошна дискусија за долгорочна соработка.
Прочитај повеќеИспрати барање