Полупроводникот VeTek е водечки производител на материјали за обложување со тантал карбид за индустријата за полупроводници. Нашите главни понуди на производи вклучуваат делови за обложување со CVD тантал карбид, делови за обложување со синтеруван TaC за раст на SiC кристали или процес на полупроводничка епитаксија. Положен ISO9001, VeTek Semiconductor има добра контрола на квалитетот. VeTek Semiconductor е посветен да стане иноватор во индустријата за обложување со тантал карбид преку тековно истражување и развој на итеративни технологии.
Главните производи сеТантал карбид премачкување дезертериски прстен, TaC обложен прстен за пренасочување, TaC обложени полумесечини делови, Планетарен ротационен диск обложен со тантал карбид (Aixtron G10) , Тас обложен сад; TaC обложени прстени; Порозен графит обложен со TaC; Тантал карбид обвивка од графит сусцептор; Прстен за водич обложен со TaC; TaC плоча обложена со тантал карбид; TaC обложен нафора чувствителни; TaC обложување прстен; TaC облога од графитен капак; Парче обложено со TaCитн., чистотата е под 5 ppm, може да ги задоволи барањата на клиентите.
Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD). Предноста е прикажана на сликата подолу:
Облогата од тантал карбид (TaC) привлече внимание поради високата точка на топење до 3880°C, одличната механичка цврстина, цврстина и отпорност на термички удари, што го прави атрактивна алтернатива на сложените полупроводнички епитаксии со повисоки температурни барања. како што се Aixtron MOCVD системот и LPE SiC епитаксискиот процес. Исто така, има широка примена во PVT методот SiC процес на раст на кристалите.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Отпорност на H2, NH3, SiH4, Si
●Отпорност на термички залихи
●Силна адхезија на графит
●Конформална покриеност со облога
● Големина до дијаметар до 750 mm (единствениот производител во Кина ја достигнува оваа големина)
● Индуктивен подлога за загревање
● Отпорен грејач
● Топлински штит
Физички својства на TaC облогата | |
Густина | 14,3 (g/cm³) |
Специфична емисионост | 0.3 |
Коефициент на термичка експанзија | 6,3 10-6/К |
Цврстина (HK) | 2000 HK |
Отпор | 1×10-5Ом * см |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Големината на графитот се менува | -10-20 мм |
Дебелина на облогата | ≥20um типична вредност (35um±10um) |
Елемент | Атомски процент | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Просечна | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor е водечки производител на прстен со три ливчиња обложен TaC и иноватор во Кина. Ние сме специјализирани за обложување TaC и SiC многу години. Нашите производи имаат отпорност на корозија, висока јачина. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител на чак обложен со тантал карбид и иноватор во Кина. Ние сме специјализирани за TaC облога многу години. Нашите производи имаат висока чистота и отпорност на високи температури до 2000℃. Со нетрпение очекуваме да станеме ваши долгорочни партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител и иноватор на обвивка обложена со тантал карбид и иноватор во Кина. Ние сме специјализирани за обложување TaC и SiC многу години. Нашите производи имаат отпорност на корозија, висока јачина. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеПорозен графит со обложен TaC е напреден материјал за обработка на полупроводници обезбеден од VeTek Semiconductor. Порозниот графит со обложен TaC ги комбинира предностите на порозниот графит и облогата на тантал карбид (TaC), со добра топлинска спроводливост и пропустливост на гас. VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување на квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител и иноватор на облога за облога од тантал карбид во Кина. Се фокусираме на обезбедување производи од тантал карбид со висока чистота, отпорни на високи температури. Нашиот капак обложен со тантал карбид има одлични перформанси и доверливост и може ефикасно да ги заштити материјалите во екстремно високи температури и корозивни средини. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеДефлекторски прстен обложен со TaC на VeTek Semiconductor е високо специјализирана компонента дизајнирана за процеси на раст на SiC кристали. Облогата TaC обезбедува одлична отпорност на високи температури и хемиска инертност за справување со високите температури и корозивни средини за време на процесот на растење на кристалите. Ова обезбедува стабилни перформанси и долг животен век на компонентата, намалувајќи ја фреквенцијата на замена и прекини. Посветени сме на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање