Прстен со три ливчиња обложен со TaC

VeTek Semiconductor е професионален кинески TaC обложен прстен со три ливчиња и снабдувач. Прстенот со три ливчиња обложен со TaC се користи во Aixtron G10-системот за таложење за сложени полупроводници, G10-GaN 150/200 mm висока пропусна епитаксија за GaN моќ и RF апликации.

VeTek Semiconductor TaC облогата е нова генерација на материјал отпорен на висока температура, со подобра стабилност на високи температури од SiC, како облога отпорен на корозија, слој отпорен на оксидација, слој отпорен на абење, може да се користи во околина над 2000℃, широко користен во Воздухопловна ултра-висока температура топли крајни делови, третата генерација на полупроводнички единечни кристали и други полиња.

Карактеристики на производот:

1. Висока чистота, содржина на нечистотија < 5 ppm

2. Отпорност на висока температура, отпорност на корозија, висока густина, висока густина

3. Хемиски е инертен на амонијак, водород, силин и силициум на висока температура и има добра термичка стабилност.

4. Отпорност на термички шок, може да го забрза работниот циклус

5. Силната адхезија на графит обезбедува долг работен век и без раслојување на облогата.

6. Строги димензионални толеранции.

Главни апликации:

1. Епитаксијален раст

2. Раст на еден кристал

3. Пренасочување на корозија со висока температура

4. Млазница отпорна на висока температура и оксидација

5. Сечила на гасна турбина

Параметар на производот на прстенот со три ливчиња обложен TaC

Продавница за производство на полупроводници VeTek