Полупроводникот VeTek е водечки производител на материјали за обложување со тантал карбид за индустријата за полупроводници. Нашите главни понуди на производи вклучуваат делови за обложување со CVD тантал карбид, делови за обложување со синтеруван TaC за раст на SiC кристали или процес на полупроводничка епитаксија. Положен ISO9001, VeTek Semiconductor има добра контрола на квалитетот. VeTek Semiconductor е посветен да стане иноватор во индустријата за обложување со тантал карбид преку тековно истражување и развој на итеративни технологии.
Главните производи сеТантал карбид премачкување дезертериски прстен, TaC обложен прстен за пренасочување, TaC обложени полумесечини делови, Планетарен ротационен диск обложен со тантал карбид (Aixtron G10) , Тас обложен сад; TaC обложени прстени; Порозен графит обложен со TaC; Тантал карбид обвивка од графит сусцептор; Прстен за водич обложен со TaC; TaC плоча обложена со тантал карбид; TaC обложен нафора чувствителни; TaC обложување прстен; TaC облога од графитен капак; Парче обложено со TaCитн., чистотата е под 5 ppm, може да ги задоволи барањата на клиентите.
Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD). Предноста е прикажана на сликата подолу:
Облогата од тантал карбид (TaC) привлече внимание поради високата точка на топење до 3880°C, одличната механичка цврстина, цврстина и отпорност на термички удари, што го прави атрактивна алтернатива на сложените полупроводнички епитаксии со повисоки температурни барања. како што се Aixtron MOCVD системот и LPE SiC епитаксискиот процес. Исто така, има широка примена во PVT методот SiC процес на раст на кристалите.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Отпорност на H2, NH3, SiH4, Si
●Отпорност на термички залихи
●Силна адхезија на графит
●Конформална покриеност со облога
● Големина до дијаметар до 750 mm (единствениот производител во Кина ја достигнува оваа големина)
● Индуктивен подлога за загревање
● Отпорен грејач
● Топлински штит
Физички својства на TaC облогата | |
Густина | 14,3 (g/cm³) |
Специфична емисионост | 0.3 |
Коефициент на термичка експанзија | 6,3 10-6/К |
Цврстина (HK) | 2000 HK |
Отпор | 1×10-5Ом * см |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Големината на графитот се менува | -10-20 мм |
Дебелина на облогата | ≥20um типична вредност (35um±10um) |
Елемент | Атомски процент | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Просечна | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor е професионален производител на TaC Coating Plate и други резервни делови TaC Coating во Кина. TaC облогата во моментов главно се користи во процеси како што се растот на еднокристалот на силициум карбид (метод PVT), епитаксијален диск (вклучувајќи епитаксија на силициум карбид, епитаксија на LED), итн. Плочата за обложување стана репер за резервните делови за TaC Coating. Со нетрпение очекуваме да станете наш долгогодишен партнер.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е професионален производител на GaN на SiC epi сензор, CVD SiC облога и CVD TAC COATING графит сензор во Кина. Меѓу нив, GaN на SiC epi сензорот игра витална улога во полупроводничката обработка. Преку одличната топлинска спроводливост, способноста за обработка на висока температура и хемиската стабилност, тој обезбедува висока ефикасност и квалитет на материјалот на процесот на епитаксијален раст GaN. Искрено ја очекуваме вашата понатамошна консултација.
Прочитај повеќеИспрати барањеНосачот за обложување CVD TaC на VeTek Semiconductor е главно дизајниран за епитаксијален процес на производство на полупроводници. Ултра високата точка на топење на носачот CVD TaC, одличната отпорност на корозија и извонредната термичка стабилност ја одредуваат неопходноста на овој производ во полупроводнички епитаксијален процес. искрено се надеваме дека ќе изградиме долгорочни деловни односи со вас.
Прочитај повеќеИспрати барањеПрстенот за водич за обложување TaC на VeTek Semiconductor е создаден со нанесување облога со тантал карбид на делови од графит користејќи високо напредна техника наречена хемиско таложење на пареа (CVD). Овој метод е добро воспоставен и нуди исклучителни својства на обложување. Со користење на TaC Coating Guide Ring, животниот век на графитните компоненти може значително да се продолжи, движењето на графитните нечистотии може да се потисне, а квалитетот на еднокристалот SiC и AIN може сигурно да се одржува. Добредојдовте да не прашате.
Прочитај повеќеИспрати барањеПолупроводникот VeTek Semiconductor's TaC обложен графит сусцептор користи метод на хемиско таложење на пареа (CVD) за да подготви облога со тантал карбид на површината на графитните делови. Овој процес е најзрел и има најдобри својства на обложување. TaC обложениот графит сусцептор може да го продолжи работниот век на компонентите на графит, да ја инхибира миграцијата на графитните нечистотии и да обезбеди квалитет на епитаксијата. VeTek Semiconductor со нетрпение го очекува вашето барање.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor го претставува TaC Coating Susceptor. Неговите сигурни перформанси и висококвалитетната TaC облога постојано даваат исклучителни резултати во процесите на епитаксијата на SiC. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање