Резервен дел за обложување TaC

VeTek Semiconductor е професионален производител на TaC Coating Plate и други резервни делови TaC Coating во Кина. TaC облогата во моментов главно се користи во процеси како што се растот на еднокристалот на силициум карбид (метод PVT), епитаксијален диск (вклучувајќи епитаксија на силициум карбид, епитаксија на LED), итн. Плочата за обложување стана репер за резервните делови за TaC Coating. Со нетрпение очекуваме да станете наш долгогодишен партнер.

Испрати барање

Опис на производот

Полупроводник VeTekПлоча за обложување TaCе специјален материјал кој широко се користи вополупроводникпроцес на производство. Во комбинација со неговата висока цврстина и отпорност на абење, отпорност на висока температура, отпорност на корозија, низок коефициент на триење и добра топлинска спроводливост, TaC Coating Plate игра незаменлива улога во многу врски на полупроводничка обработка.

Општо земено, апликациите наПлочи обложени со TaCво полупроводничка обработка се како што следува:

Супстрат за раст на CVD/ALD: Отпорноста на висока температура, хемиската стабилност и нискиот коефициент на триење на TaC обложените плочи ги прават идеални за CVD/ALD подлоги за раст. Може да обезбеди стабилна средина за раст за да обезбеди униформност и густина на филмот.

Плоча за маска за офорт: Високата тврдост и отпорност на корозија на плочите обложени со TaC им овозможуваат да издржат високоенергетски процеси како што е офорт со плазма, како плочи со маски за офорт, заштитувајќи го основниот филм.

CMP подлога за полирање: Отпорноста на абење и нискиот коефициент на триење на плочите обложени со TaC ги прават идеални материјали за CMP влошки за полирање, кои можат ефикасно да ги отстранат честичките и дефектите на површината на филмот.

Цевка за печка со висока температура: Отпорноста на висока температура и отпорноста на корозија на плочите обложени со TaC им овозможуваат да се користат како цевки за печки во печки со висока температура за жарење, дифузија и други процеси со висока температура.

Во комбинација со карактеристиките на производот наПлоча за обложување TaC, утврдува дека овој производ игра незаменлива клучна улога во подобрувањето на перформансите на уредот, продолжувањето на животниот век на опремата и подобрувањето на ефикасноста на производството.

Како професионален производител наGaN на SiC epi акцептор, Порозен графитиПлоча за обложување TaCво Кина, VeTek Semiconductor секогаш инсистира на обезбедување приспособени услуги за производи и е посветена на обезбедување на индустријата со врвна технологија и решенија за производи. Искрено ја очекуваме вашата понатамошна консултација.

CVD TAC COATING Технички параметри：