Полупроводникот VeTek е водечки производител на материјали за обложување со тантал карбид за индустријата за полупроводници. Нашите главни понуди на производи вклучуваат делови за обложување со CVD тантал карбид, делови за обложување со синтеруван TaC за раст на SiC кристали или процес на полупроводничка епитаксија. Положен ISO9001, VeTek Semiconductor има добра контрола на квалитетот. VeTek Semiconductor е посветен да стане иноватор во индустријата за обложување со тантал карбид преку тековно истражување и развој на итеративни технологии.
Главните производи сеТантал карбид премачкување дезертериски прстен, TaC обложен прстен за пренасочување, TaC обложени полумесечини делови, Планетарен ротационен диск обложен со тантал карбид (Aixtron G10) , Тас обложен сад; TaC обложени прстени; Порозен графит обложен со TaC; Тантал карбид обвивка од графит сусцептор; Прстен за водич обложен со TaC; TaC плоча обложена со тантал карбид; TaC обложен нафора чувствителни; TaC обложување прстен; TaC облога од графитен капак; Парче обложено со TaCитн., чистотата е под 5 ppm, може да ги задоволи барањата на клиентите.
Графитот со облога со TaC се создава со премачкување на површината на графитна подлога со висока чистота со фин слој тантал карбид со сопствен процес на хемиско таложење на пареа (CVD). Предноста е прикажана на сликата подолу:
Облогата од тантал карбид (TaC) привлече внимание поради високата точка на топење до 3880°C, одличната механичка цврстина, цврстина и отпорност на термички удари, што го прави атрактивна алтернатива на сложените полупроводнички епитаксии со повисоки температурни барања. како што се Aixtron MOCVD системот и LPE SiC епитаксискиот процес. Исто така, има широка примена во PVT методот SiC процес на раст на кристалите.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистота
●Отпорност на H2, NH3, SiH4, Si
●Отпорност на термички залихи
●Силна адхезија на графит
●Конформална покриеност со облога
● Големина до дијаметар до 750 mm (единствениот производител во Кина ја достигнува оваа големина)
● Индуктивен подлога за загревање
● Отпорен грејач
● Топлински штит
Физички својства на TaC облогата | |
Густина | 14,3 (g/cm³) |
Специфична емисионост | 0.3 |
Коефициент на термичка експанзија | 6,3 10-6/К |
Цврстина (HK) | 2000 HK |
Отпор | 1×10-5Ом * см |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Големината на графитот се менува | -10-20 мм |
Дебелина на облогата | ≥20um типична вредност (35um±10um) |
Елемент | Атомски процент | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Просечна | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на CVD TaC Coating Crucible производи во Кина. CVD TaC Coating Crucible се базира на облога од тантал јаглерод (TaC). Јаглеродниот слој од тантал е рамномерно покриен на површината на садот преку процесот на хемиско таложење на пареа (CVD) за да се подобри неговата отпорност на топлина и отпорност на корозија. Тоа е материјална алатка специјално користена во екстремни средини со висока температура. Добредојдовте на вашата понатамошна консултација.
Прочитај повеќеИспрати барањеКако професионален производител и фабрика во Кина, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier е алатка за носење нафора специјално дизајнирана за високи температури и корозивни средини во производството на полупроводници. и CVD TaC облога Носачот на нафора има висока механичка сила, одлична отпорност на корозија и термичка стабилност, обезбедувајќи ја потребната гаранција за производство на висококвалитетни полупроводнички уреди. Вашите дополнителни прашања се добредојдени.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител и иноватор на TaC Coating Heater во Кина. Овој производ има исклучително висока точка на топење (околу 3880°C). Високата точка на топење на грејачот за обложување TaC му овозможува да работи на екстремно високи температури, особено при растот на епитаксијалните слоеви на галиум нитрид (GaN) во процесот на таложење на метални органски хемиски пареа (MOCVD). VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување напредна технологија и решенија за производи за индустријата за полупроводници. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеКако професионален производител и добавувач на TaC обложена чак во Кина, VeTek Semiconductor's TaC Coating Chuck е специјално дизајниран за полупроводнички печки. Со својата отпорност на високи температури, хемиска инертност и одлични перформанси, иновативната технологија на Vetek Semiconductor обезбедува сигурно решение за индустријата за производство на полупроводници за да се обезбедат стандарди за производство со висок квалитет. Ние веруваме дека нашите производи можат да ви донесат напредна технологија и висококвалитетни решенија за производи.
Прочитај повеќеИспрати барањеКако професионален производител и снабдувач на цевки за обложување TaC во Кина, цевката за обложување TaC на VeTek Semiconductor е клучна компонента за успешен раст на единечни кристали од силициум карбид. Со својата висока температурна отпорност, хемиска инертност и одлични перформанси, обезбедува производство на висококвалитетни кристали со постојани резултати. Верувајте им на нашите иновативни решенија за подобрување на вашиот PVT метод на процес на раст на SiC кристалите и постигнување одлични резултати. Добредојдовте да не прашате.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител, иноватор и лидер на CVD TAC Coating во Кина. Долги години, се фокусиравме на различни производи за CVD TAC Coating, како што се CVD TaC прекривка за CVD TaC, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating носач итн. консултации.
Прочитај повеќеИспрати барање