CVD TAC облога

VeTek Semiconductor е водечки производител, иноватор и лидер на CVD TAC Coating во Кина. Долги години, се фокусиравме на различни производи за CVD TAC Coating, како што се CVD TaC прекривка за CVD TaC, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating носач итн. консултации.

Испрати барање

Опис на производот

CVD TaC Coating (облога од тантал карбид со хемиско таложење на пареа) е производ за обложување главно составен од тантал карбид (TaC). Облогата TaC има исклучително висока цврстина, отпорност на абење и отпорност на високи температури, што го прави идеален избор за заштита на клучните компоненти на опремата и за подобрување на доверливоста на процесот. Тоа е незаменлив материјал во полупроводничката обработка.

Производите за обложување CVD TaC обично се користат во комори за реакција, носачи на обланди и опрема за офорт и ги играат следните клучни улоги во нив.

CVD TaC облогата често се користи за внатрешни компоненти на реакционите комори како што се подлоги, ѕидни панели и грејни елементи. Во комбинација со неговата одлична отпорност на високи температури, може ефикасно да се спротивстави на ерозијата на висока температура, корозивни гасови и плазма, а со тоа ефикасно го продолжува работниот век на опремата и обезбедува стабилност на процесот и чистота на производството на производот.

Покрај тоа, носачите на обланди обложени со TaC (како што се кварцните чамци, тела итн.) исто така имаат одлична отпорност на топлина и отпорност на хемиска корозија. Носачот на обланда може да обезбеди сигурна поддршка за обландата при високи температури, да спречи контаминација и деформација на обландата и на тој начин да го подобри целокупниот принос на чиповите.

Покрај тоа, TaC облогата на VeTek Semiconductor е исто така широко користена во различни опрема за офорт и таложење на тенок филм, како што се плазма грејачи, системи за таложење на хемиска пареа итн. Во овие системи за обработка, CVD TAC Coating може да издржи високоенергетски јонски бомбардирање и силни хемиски реакции , со што се обезбедува точност и повторливост на процесот.

Без оглед на вашите специфични барања, ние ќе одговараме на најдоброто решение за вашите потреби за CVD TAC Coating и со нетрпение ја очекуваме вашата консултација во секое време.

Основни физички својства на CVD TAC облогата:

Физички својства на TaC облогата
Густина	14,3 (g/cm³)
Специфична емисивност	0.3
Коефициент на термичка експанзија	6,3 10-6/К
Цврстина (HK)	2000 HK
Отпор	1×10-5 Ом*см
Термичка стабилност	<2500℃
Големината на графитот се менува	-10-20 мм
Дебелина на облогата	≥20um типична вредност (35um±10um)