TaC грејач за обложување

VeTek Semiconductor е водечки производител и иноватор на TaC Coating Heater во Кина. Овој производ има исклучително висока точка на топење (околу 3880°C). Високата точка на топење на грејачот за обложување TaC му овозможува да работи на екстремно високи температури, особено при растот на епитаксијалните слоеви на галиум нитрид (GaN) во процесот на таложење на метални органски хемиски пареа (MOCVD). VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување напредна технологија и решенија за производи за индустријата за полупроводници. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

TaC Coating Heater е грејач со високи перформанси што широко се користи во процесите на производство на полупроводници. Неговата површина е обложена со материјал од тантал карбид (TaC), кој му дава на грејачот одлична отпорност на високи температури, отпорност на хемиска корозија и одлична топлинска спроводливост.

Главните примени на грејачот за обложување TaC во производството на полупроводници вклучуваат:

За време на процесот на епитаксијален раст на галиум нитрид (GaN), грејачот за обложување TaC обезбедува прецизно контролирана средина со висока температура за да се осигура дека епитаксијалниот слој се депонира на подлогата со еднаква брзина и висок квалитет. Неговиот стабилен излез на топлина помага да се постигне прецизна контрола на материјалите од тенок филм, а со тоа се подобруваат перформансите на уредот.

Покрај тоа, во процесот на метално органско хемиско таложење на пареа (MOCVD), во комбинација со висока температурна отпорност и топлинска спроводливост на TaC облогата, грејачот за обложување TaC обично се користи за загревање на реакциониот гас, а со обезбедување рамномерна дистрибуција на топлина, промовира неговата хемиска реакција на површината на подлогата, со што се подобрува униформноста на епитаксијалниот слој и се формира висококвалитетен филм.

Како лидер во индустријата во производите на TaC Coating Heater, VeTek Semiconducto секогаш поддржува услуги за прилагодување на производите и задоволителни цени на производите. Без разлика кои се вашите специфични барања, ние ќе одговараме на најдоброто решение за вашите потреби за грејач за обложување TaC и со нетрпение ја очекуваме вашата консултација во секое време.

Основни физички својства на грејачот за обложување TaC:

Физички својства на TaC облогата
Густина	14,3 (g/cm³)
Специфична емисионост	0.3
Коефициент на термичка експанзија	6,3 10-6/К
Цврстина (HK)	2000 HK
Отпор	1×10-5 Ом*см
Термичка стабилност	<2500℃
Големината на графитот се менува	-10-20 мм
Дебелина на облогата	≥20um типична вредност (35um±10um)