Плоча за поддршка на пиедесталот за обложување TaC

VeTek Semiconductor е кинески производител и добавувач кој главно произведува CVD TaC сензори за обложување, влезен прстен, нафора Chunck, TaC обложен држач, TaC облога за потпорна плоча со долгогодишно искуство. Се надевам дека ќе изградиме деловни односи со вас.

TaC керамиката има точка на топење до 3880℃, висока цврстина (тврдост на Mohs 9 ~ 10), голема топлинска спроводливост (22W·m-1·K−1), голема јакост на свиткување (340 ~ 400MPa) и мала термичка експанзија коефициент (6,6×10−6K−1), и покажуваат одлична термохемиска стабилност и одлични физички својства. Има добра хемиска и механичка компатибилност со графит и C/C композитни материјали, така што облогата TaC е широко користена во воздушната топлинска заштита, растот на еден кристал и епитаксијалните реактори како Aixtron, LPE EPI реактор во полупроводничката индустрија. Графитот обложен со TaC има подобра хемиска отпорност на корозија од голо камено мастило или графит обложен со SiC, може да се користи стабилно на висока температура од 2200 °, не реагира со многу метални елементи, е трета генерација на полупроводнички сцени за раст на еднокристали, епитаксии и гравирање на нафора со најдобри перформанси слој, може значително да го подобри процесот на контрола на температурата и нечистотијата, Подготовка на висококвалитетни силициум карбид наполитанки и сродни епитаксијални наполитанки. Посебно е погоден за одгледување единечни кристали GaN или AlN во опрема MOCVD и SiC единечни кристали во PVT опрема, а квалитетот на одгледуваниот монокристал е очигледно подобрен.

TaC облога и слој SiC Резервни делови што можеме да ги направиме:

Параметар на TaC облогата:

Индустриски синџир:

Продавница за производство