Кина Процес на епитаксија на SiC Производител, добавувач, фабрика

Уникатните карбидни облоги на VeTek Semiconductor обезбедуваат супериорна заштита за графитните делови во SiC Epitaxy Process за обработка на барани полупроводнички и композитни полупроводнички материјали. Резултатот е продолжен век на графитната компонента, зачувување на реакциската стехиометрија, инхибиција на миграцијата на нечистотијата до апликациите за епитаксија и раст на кристалите, што резултира со зголемен принос и квалитет.

Нашите облоги од тантал карбид (TaC) ги штитат критичните компоненти на печката и реакторот на високи температури (до 2200°C) од врел амонијак, водород, силициумски пареи и стопени метали. VeTek Semiconductor има широк опсег на способности за обработка и мерење на графит за да ги задоволи вашите приспособени барања, за да можеме да понудиме облога што се плаќа или целосна услуга, со нашиот тим од стручни инженери подготвени да го дизајнираат вистинското решение за вас и вашата специфична апликација .

Сложени полупроводнички кристали

VeTek Semiconductor може да обезбеди специјални TaC облоги за различни компоненти и носачи. Преку водечкиот процес на обложување на VeTek Semiconductor во индустријата, TaC облогата може да добие висока чистота, висока температурна стабилност и висока хемиска отпорност, а со тоа да го подобри квалитетот на производот на кристалните TaC/GaN) и EPl слоевите и да го продолжи животниот век на критичните компоненти на реакторот.

Топлински изолатори

Компоненти за раст на кристалите SiC, GaN и AlN, вклучително садници, држачи за семиња, дефлектори и филтри. Индустриски склопови вклучувајќи резистивни грејни елементи, млазници, заштитни прстени и лемење, GaN и SiC епитаксијални CVD-реакторски компоненти, вклучувајќи носачи на нафора, сателитски фиоки, глави за туширање, капи и постаменти, компоненти MOCVD.

Цел:

LED (диода што емитува светлина) носач за нафора

ALD (полупроводнички) ресивер

ЕПИ рецептор (процес на епитаксија на SiC)

Сателитски сусцептор обложен со TaC TaC облога Поддржувач и прстен TaC Делови за обложување Делови за полумесечина со TaC слој

Споредба на SiC облогата и TaC облогата:

	SiC	TaC
Главни карактеристики	Ултра висока чистота, одлична отпорност на плазма	Одлична стабилност на високи температури (сообразност на процесот на висока температура)
Чистота	>99,9999%	>99,9999%
Густина (g/cm 3)	3.21	15
Цврстина (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Отпорност [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Топлинска спроводливост (W/m-K)	200-360	22
Коефициент на термичка експанзија (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Апликација	Полупроводничка опрема Керамичка сложувалка (фокус прстен, туш глава, кукла нафора)	SiC Еднокристален раст, Epi, UV LED делови за опрема

View as

Прстен од тантал карбид

Како напреден производител и производител на производи од тантал карбид прстен во Кина, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring има исклучително висока цврстина, отпорност на абење, отпорност на високи температури и хемиска стабилност и широко се користи во полето за производство на полупроводници. Особено во CVD, PVD, процес на имплантација на јони, процес на офорт и обработка и транспорт на нафора, тој е незаменлив производ за обработка и производство на полупроводници. Со нетрпение ја очекуваме вашата понатамошна консултација.

Прочитај повеќе Испрати барање

Поддршка за обложување со тантал карбид

Како професионален производител на производи за поддршка на облоги од тантал карбид и фабрика во Кина, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support обично се користи за површинско обложување на структурни компоненти или потпорни компоненти во полупроводничка опрема, особено за заштита на површината на клучните компоненти на опремата во процесите на производство на полупроводници како што се CVD и PVD. Добредојдовте на вашата понатамошна консултација.

Прочитај повеќе Испрати барање

Водички прстен од тантал карбид

VeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на производите за водич со прстен од тантал карбид во Кина. Нашиот водич со тантал карбид (TaC) е прстенест компонента со високи перформанси изработена од тантал карбид, која вообичаено се користи во опрема за обработка на полупроводници, особено во средини со висока температура и високо корозивни средини како што се CVD, PVD, офорт и дифузија. VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување напредна технологија и решенија за производи за индустријата за полупроводници и ги поздравува вашите понатамошни прашања.

Прочитај повеќе Испрати барање

Подлога за ротација на облогата на TaC

Како професионален производител, иноватор и лидер на производите на TaC Coating Rotation Susceptor во Кина. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor обично се инсталира во опрема за хемиско таложење на пареа (CVD) и молекуларна епитаксија (MBE) за поддршка и ротирање на наполитанки за да се обезбеди униформа таложење на материјалот и ефикасна реакција. Тоа е клучна компонента во полупроводничката обработка. Добредојдовте на вашата понатамошна консултација.

Прочитај повеќе Испрати барање

CVD TaC Crucible за обложување

VeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на CVD TaC Coating Crucible производи во Кина. CVD TaC Coating Crucible се базира на облога од тантал јаглерод (TaC). Јаглеродниот слој од тантал е рамномерно покриен на површината на садот преку процесот на хемиско таложење на пареа (CVD) за да се подобри неговата отпорност на топлина и отпорност на корозија. Тоа е материјална алатка специјално користена во екстремни средини со висока температура. Добредојдовте на вашата понатамошна консултација.

Прочитај повеќе Испрати барање

CVD TaC облога Носач на нафора

Како професионален производител и фабрика во Кина, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier е алатка за носење нафора специјално дизајнирана за високи температури и корозивни средини во производството на полупроводници. и CVD TaC облога Носачот на нафора има висока механичка сила, одлична отпорност на корозија и термичка стабилност, обезбедувајќи ја потребната гаранција за производство на висококвалитетни полупроводнички уреди. Вашите дополнителни прашања се добредојдени.

Прочитај повеќе Испрати барање

<1 2 3 4 5...7 >

Како професионален Процес на епитаксија на SiC производител и добавувач во Кина, имаме сопствена фабрика. Без разлика дали ви требаат приспособени услуги за да ги задоволите специфичните потреби на вашиот регион или сакате да купите напредни и издржливи Процес на епитаксија на SiC произведени во Кина, можете да ни оставите порака.