Кина Процес на епитаксија на SiC Производител, добавувач, фабрика

Уникатните карбидни облоги на VeTek Semiconductor обезбедуваат супериорна заштита за графитните делови во SiC Epitaxy Process за обработка на барани полупроводнички и композитни полупроводнички материјали. Резултатот е продолжен век на графитната компонента, зачувување на реакциската стехиометрија, инхибиција на миграцијата на нечистотијата до апликациите за епитаксија и раст на кристалите, што резултира со зголемен принос и квалитет.

Нашите облоги од тантал карбид (TaC) ги штитат критичните компоненти на печката и реакторот на високи температури (до 2200°C) од врел амонијак, водород, силициумски пареи и стопени метали. VeTek Semiconductor има широк опсег на способности за обработка и мерење на графит за да ги задоволи вашите приспособени барања, за да можеме да понудиме облога што се плаќа или целосна услуга, со нашиот тим од стручни инженери подготвени да го дизајнираат вистинското решение за вас и вашата специфична апликација .

Сложени полупроводнички кристали

VeTek Semiconductor може да обезбеди специјални TaC облоги за различни компоненти и носачи. Преку водечкиот процес на обложување на VeTek Semiconductor во индустријата, TaC облогата може да добие висока чистота, висока температурна стабилност и висока хемиска отпорност, а со тоа да го подобри квалитетот на производот на кристалните TaC/GaN) и EPl слоевите и да го продолжи животниот век на критичните компоненти на реакторот.

Топлински изолатори

Компоненти за раст на кристалите SiC, GaN и AlN, вклучително садници, држачи за семиња, дефлектори и филтри. Индустриски склопови вклучувајќи резистивни грејни елементи, млазници, заштитни прстени и лемење, GaN и SiC епитаксијални CVD-реакторски компоненти, вклучувајќи носачи на нафора, сателитски фиоки, глави за туширање, капи и постаменти, компоненти MOCVD.

Цел:

LED (диода што емитува светлина) носач за нафора

ALD (полупроводнички) ресивер

ЕПИ рецептор (процес на епитаксија на SiC)

Сателитски сусцептор обложен со TaC TaC облога Поддржувач и прстен TaC Делови за обложување Делови за полумесечина со TaC слој

Споредба на SiC облогата и TaC облогата:

	SiC	TaC
Главни карактеристики	Ултра висока чистота, одлична отпорност на плазма	Одлична стабилност на високи температури (сообразност на процесот на висока температура)
Чистота	>99,9999%	>99,9999%
Густина (g/cm 3)	3.21	15
Цврстина (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Отпорност [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Топлинска спроводливост (W/m-K)	200-360	22
Коефициент на термичка експанзија (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Апликација	Полупроводничка опрема Керамичка сложувалка (фокус прстен, туш глава, кукла нафора)	SiC Еднокристален раст, Epi, UV LED делови за опрема

View as

CVD TaC облога Носач на нафора

Како професионален производител и фабрика во Кина, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier е алатка за носење нафора специјално дизајнирана за високи температури и корозивни средини во производството на полупроводници. Овој производ има висока механичка сила, одлична отпорност на корозија и термичка стабилност, обезбедувајќи ја потребната гаранција за производство на висококвалитетни полупроводнички уреди. Вашите дополнителни прашања се добредојдени.

Прочитај повеќе Испрати барање

TaC грејач за обложување

VeTek Semiconductor е водечки производител и иноватор на TaC Coating Heater во Кина. Овој производ има исклучително висока точка на топење (околу 3880°C). Високата точка на топење на грејачот за обложување TaC му овозможува да работи на екстремно високи температури, особено при растот на епитаксијалните слоеви на галиум нитрид (GaN) во процесот на таложење на метални органски хемиски пареа (MOCVD). VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување напредна технологија и решенија за производи за индустријата за полупроводници. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Прочитај повеќе Испрати барање

Чак обложен со TaC

Како професионален производител и добавувач на TaC обложена чак во Кина, VeTek Semiconductor's TaC Coating Chuck е специјално дизајниран за полупроводнички печки. Со својата отпорност на високи температури, хемиска инертност и одлични перформанси, иновативната технологија на Vetek Semiconductor обезбедува сигурно решение за индустријата за производство на полупроводници за да се обезбедат стандарди за производство со висок квалитет. Ние веруваме дека нашите производи можат да ви донесат напредна технологија и висококвалитетни решенија за производи.

Прочитај повеќе Испрати барање

Цевка за обложување TaC

Како професионален производител и снабдувач на цевки за обложување TaC во Кина, цевката за обложување TaC на VeTek Semiconductor е клучна компонента за успешен раст на единечни кристали од силициум карбид. Со својата висока температурна отпорност, хемиска инертност и одлични перформанси, обезбедува производство на висококвалитетни кристали со постојани резултати. Верувајте им на нашите иновативни решенија за подобрување на вашиот PVT метод на процес на раст на SiC кристалите и постигнување одлични резултати. Добредојдовте да не прашате.

Прочитај повеќе Испрати барање

CVD TAC облога

VeTek Semiconductor е водечки производител, иноватор и лидер на CVD TAC Coating во Кина. Долги години, се фокусиравме на различни производи за CVD TAC Coating, како што се CVD TaC прекривка за CVD TaC, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating носач итн. консултации.

Прочитај повеќе Испрати барање

Резервен дел за обложување TaC

VeTek Semiconductor е професионален производител на TaC Coating Plate и други резервни делови TaC Coating во Кина. TaC облогата во моментов главно се користи во процеси како што се растот на еднокристалот на силициум карбид (метод PVT), епитаксијален диск (вклучувајќи епитаксија на силициум карбид, епитаксија на LED), итн. Плочата за обложување стана репер за резервните делови за TaC Coating. Со нетрпение очекуваме да станете наш долгогодишен партнер.

Прочитај повеќе Испрати барање

<1 2 3 4 5...6 >

Како професионален Процес на епитаксија на SiC производител и добавувач во Кина, имаме сопствена фабрика. Без разлика дали ви требаат приспособени услуги за да ги задоволите специфичните потреби на вашиот регион или сакате да купите напредни и издржливи Процес на епитаксија на SiC произведени во Кина, можете да ни оставите порака.