Поддршка за обложување со тантал карбид

Главната функција на VeTek SemiconductorТантал карбид (TaC) облогаПоддршката е да се подобриотпорност на топлина, отпорност на абење и отпорност на корозијана подлогата со премачкување слој од облога со тантал карбид, за да се подобри точноста и сигурноста на процесот и да се продолжи работниот век на компонентите. Тоа е производ за обложување со високи перформанси што се користи во областа на обработката на полупроводници.

Поддршката за обложување со тантал карбид на VeTek Semiconductor има цврстина Mohs од скоро 9~10, втор само по дијамантот. Има исклучително силна отпорност на абење и може ефикасно да се спротивстави на абењето и ударот на површината за време на обработката, а со тоа ефикасно го продолжува работниот век на компонентите на опремата. Во комбинација со неговата висока точка на топење од околу 3880°C, често се користи за обложување на клучните компоненти на полупроводничката опрема, како што се површинските облоги на потпорните структури, опремата за термичка обработка, комори или дихтунзи во полупроводничка опрема за да се подобри неговата отпорност на абење и висока температура. отпор.

Поради екстремно високата точка на топење на тантал карбид од околу 3880°C, во процесите на полупроводничка обработка како на пр.хемиско таложење на пареа (CVD)ифизичко таложење на пареа (PVD), TaC Облогата со силна отпорност на високи температури и отпорност на хемиска корозија може ефикасно да ги заштити компонентите на опремата и да спречи корозија или оштетување на подлогата во екстремни средини, обезбедувајќи ефикасна заштита за средини со висока температура во производството на обланди. Оваа карактеристика, исто така, одредува дека поддршката за обложување со тантал карбид на VeTek Semiconductor често се користи при офорт и корозивни процеси.

Поддршката за обложување со тантал карбид, исто така, има функција да ја намали контаминацијата со честички. За време на обработката на обландата, абењето на површината обично предизвикува контаминација со честички, што влијае на квалитетот на производот на обландата. Екстремните карактеристики на производот на TaC Coating со цврстина од близу 9-10 Mohs можат ефикасно да го намалат ова абење, а со тоа да го намалат создавањето на честички. Во комбинација со одличната топлинска спроводливост на TaC Coating (околу 21 W/m·K), може да одржува добра топлинска спроводливост при високи температурни услови, а со тоа значително да го подобри приносот и конзистентноста на производството на нафора.

Главните производи за обложување TaC на VeTek Semiconductor вклучуваатГрејач за обложување TaC, CVD TaC Crucible за обложување, Подлога за ротација на облогата на TaCиРезервен дел за обложување TaC, итн., и поддржува приспособени услуги за производи. VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување одлични производи и технички решенија за индустријата за полупроводници. Искрено се надеваме дека ќе станеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Тантал карбид (TaC) облога на микроскопски пресек:

Основни физички својства на CVD TaC облогата：