Водички прстен од тантал карбид

Полупроводник VeTekТантал карбид Водич Ринgе изработена одграфитиобложена со тантал карбид, комбинација која ги користи најдобрите својства на двата материјали за да обезбеди супериорни перформанси и долговечност.

НаTaC облогана Водичкиот прстен со тантал карбид осигурува дека тој останува хемиски инертен во реактивните атмосфери на печките за раст на SiC кристали, кои често вклучуваат гасови како водород, аргон и азот. Оваа хемиска инертност е од витално значење за да се спречи каква било контаминација на растечкиот кристал, што може да доведе до дефекти и намалени перформанси на крајните полупроводнички производи. Дополнително, термичката стабилност обезбедена од облогата TaC му овозможува на водечкиот прстен за обложување со тантал карбид да работи ефикасно на високи температури потребни заРастење на SiC кристали, обично надминува 2000°C.

Дополнително, комбинацијата на графит и TaC во прстенот за обложување со тантал карбид го оптимизира термичкото управување во печката за раст на кристалите. Високата топлинска спроводливост на графитот ефикасно ја дистрибуира топлината, спречувајќи жаришта и промовирајќи рамномерен раст на кристалите. Во меѓувреме, облогата од тантал карбид служи како топлинска бариера, заштитувајќи го јадрото на графитот од директна изложеност на високи температури и реактивни гасови. Оваа синергија помеѓу јадрото и материјалите за обложување резултира во водич прстен кој не само што ги издржува суровите услови на растот на SiC кристалите, туку и ја подобрува севкупната ефикасност и квалитет на процесот.

Механичките својства на VeTek Semiconductor Tantalum Carbide во голема мера го намалуваат абењето и кинењето на прстенот за обложување со тантал карбид. Ова е од клучно значење поради повторувачката природа напроцес на раст на кристали, што го изложува водечкиот прстен на чести термички циклуси и механички напрегања. Цврстината и отпорноста на абење на тантал карбид гарантираат дека водечкиот прстен го задржува својот структурен интегритет и прецизни димензии во текот на долги периоди, минимизирајќи ја потребата за чести замени и намалувајќи го времето на застој во процесот на производство.

VeTek Полупроводничкиот прстен за обложување со тантал карбид е суштинска компонента во индустријата за полупроводници, специјално дизајниран за раст наКристали од силициум карбид. Неговиот дизајн ги користи јаките страни на графитот и тантал карбидот за да обезбеди исклучителни перформанси во средини со висока температура и висок стрес. Облогата TaC обезбедува хемиска инертност, механичка издржливост и термичка стабилност, кои се клучни за производство на висококвалитетни SiC кристали. Одржувајќи го својот интегритет и функционалност во екстремни услови, прстенот за води го поддржува ефикасниот и без дефектен раст на SiC кристалите, придонесувајќи за унапредување на полупроводничките уреди со висока моќност и висока фреквенција.

Тантал карбид (TaC) облога на микроскопски пресек:

Физички својства на TaC облогата: