Уникатните карбидни облоги на VeTek Semiconductor обезбедуваат супериорна заштита за графитните делови во SiC Epitaxy Process за обработка на барани полупроводнички и композитни полупроводнички материјали. Резултатот е продолжен век на графитната компонента, зачувување на реакциската стехиометрија, инхибиција на миграцијата на нечистотијата до апликациите за епитаксија и раст на кристалите, што резултира со зголемен принос и квалитет.
Нашите облоги од тантал карбид (TaC) ги штитат критичните компоненти на печката и реакторот на високи температури (до 2200°C) од врел амонијак, водород, силициумски пареи и стопени метали. VeTek Semiconductor има широк опсег на способности за обработка и мерење на графит за да ги задоволи вашите приспособени барања, за да можеме да понудиме облога што се плаќа или целосна услуга, со нашиот тим од стручни инженери подготвени да го дизајнираат вистинското решение за вас и вашата специфична апликација .
Сложени полупроводнички кристали
VeTek Semiconductor може да обезбеди специјални TaC облоги за различни компоненти и носачи. Преку водечкиот процес на обложување на VeTek Semiconductor во индустријата, TaC облогата може да добие висока чистота, висока температурна стабилност и висока хемиска отпорност, а со тоа да го подобри квалитетот на производот на кристалните TaC/GaN) и EPl слоевите и да го продолжи животниот век на критичните компоненти на реакторот.
Топлински изолатори
Компоненти за раст на кристалите SiC, GaN и AlN, вклучително садници, држачи за семиња, дефлектори и филтри. Индустриски склопови вклучувајќи резистивни грејни елементи, млазници, заштитни прстени и лемење, GaN и SiC епитаксијални CVD-реакторски компоненти, вклучувајќи носачи на нафора, сателитски фиоки, глави за туширање, капи и постаменти, компоненти MOCVD.
LED (диода што емитува светлина) носач за нафора
ALD (полупроводнички) ресивер
ЕПИ рецептор (процес на епитаксија на SiC)
Сателитски сусцептор обложен со TaC TaC облога Поддржувач и прстен TaC Делови за обложување Делови за полумесечина со TaC слој
SiC | TaC | |
Главни карактеристики | Ултра висока чистота, одлична отпорност на плазма | Одлична стабилност на високи температури (сообразност на процесот на висока температура) |
Чистота | >99,9999% | >99,9999% |
Густина (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Цврстина (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Отпорност [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Топлинска спроводливост (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Коефициент на термичка експанзија (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Апликација | Полупроводничка опрема Керамичка сложувалка (фокус прстен, туш глава, кукла нафора) | SiC Еднокристален раст, Epi, UV LED делови за опрема |
VeTek Semiconductor е професионален производител на GaN на SiC epi сензор, CVD SiC облога и CVD TAC COATING графит сензор во Кина. Меѓу нив, GaN на SiC epi сензорот игра витална улога во полупроводничката обработка. Преку одличната топлинска спроводливост, способноста за обработка на висока температура и хемиската стабилност, тој обезбедува висока ефикасност и квалитет на материјалот на процесот на епитаксијален раст GaN. Искрено ја очекуваме вашата понатамошна консултација.
Прочитај повеќеИспрати барањеНосачот за обложување CVD TaC на VeTek Semiconductor е главно дизајниран за епитаксијален процес на производство на полупроводници. Ултра високата точка на топење на носачот CVD TaC, одличната отпорност на корозија и извонредната термичка стабилност ја одредуваат неопходноста на овој производ во полупроводнички епитаксијален процес. искрено се надеваме дека ќе изградиме долгорочни деловни односи со вас.
Прочитај повеќеИспрати барањеПрстенот за водич за обложување TaC на VeTek Semiconductor е создаден со нанесување облога со тантал карбид на делови од графит користејќи високо напредна техника наречена хемиско таложење на пареа (CVD). Овој метод е добро воспоставен и нуди исклучителни својства на обложување. Со користење на TaC Coating Guide Ring, животниот век на графитните компоненти може значително да се продолжи, движењето на графитните нечистотии може да се потисне, а квалитетот на еднокристалот SiC и AIN може сигурно да се одржува. Добредојдовте да не прашате.
Прочитај повеќеИспрати барањеПолупроводникот VeTek Semiconductor's TaC обложен графит сусцептор користи метод на хемиско таложење на пареа (CVD) за да подготви облога со тантал карбид на површината на графитните делови. Овој процес е најзрел и има најдобри својства на обложување. TaC обложениот графит сусцептор може да го продолжи работниот век на компонентите на графит, да ја инхибира миграцијата на графитните нечистотии и да обезбеди квалитет на епитаксијата. VeTek Semiconductor со нетрпение го очекува вашето барање.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor го претставува TaC Coating Susceptor. Неговите сигурни перформанси и висококвалитетната TaC облога постојано даваат исклучителни резултати во процесите на епитаксијата на SiC. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеПлочата за ротација TaC облога на VeTek Semiconductor може да се пофали со извонредна TaC облога, со својот исклучителен TaC слој, TaC Coating Rotation Plate се пофали со извонредна отпорност на висока температура и хемиска инертност, што го издвојува од традиционалните решенија. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи на конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање