Уникатните карбидни облоги на VeTek Semiconductor обезбедуваат супериорна заштита за графитните делови во SiC Epitaxy Process за обработка на барани полупроводнички и композитни полупроводнички материјали. Резултатот е продолжен век на графитната компонента, зачувување на реакциската стехиометрија, инхибиција на миграцијата на нечистотијата до апликациите за епитаксија и раст на кристалите, што резултира со зголемен принос и квалитет.
Нашите облоги од тантал карбид (TaC) ги штитат критичните компоненти на печката и реакторот на високи температури (до 2200°C) од врел амонијак, водород, силициумски пареи и стопени метали. VeTek Semiconductor има широк опсег на способности за обработка и мерење на графит за да ги задоволи вашите приспособени барања, за да можеме да понудиме облога што се плаќа или целосна услуга, со нашиот тим од стручни инженери подготвени да го дизајнираат вистинското решение за вас и вашата специфична апликација .
Сложени полупроводнички кристали
VeTek Semiconductor може да обезбеди специјални TaC облоги за различни компоненти и носачи. Преку водечкиот процес на обложување на VeTek Semiconductor во индустријата, TaC облогата може да добие висока чистота, висока температурна стабилност и висока хемиска отпорност, а со тоа да го подобри квалитетот на производот на кристалните TaC/GaN) и EPl слоевите и да го продолжи животниот век на критичните компоненти на реакторот.
Топлински изолатори
Компоненти за раст на кристалите SiC, GaN и AlN, вклучително садници, држачи за семиња, дефлектори и филтри. Индустриски склопови вклучувајќи резистивни грејни елементи, млазници, заштитни прстени и лемење, GaN и SiC епитаксијални CVD-реакторски компоненти, вклучувајќи носачи на нафора, сателитски фиоки, глави за туширање, капи и постаменти, компоненти MOCVD.
LED (диода што емитува светлина) носач за нафора
ALD (полупроводнички) ресивер
ЕПИ рецептор (процес на епитаксија на SiC)
Сателитски сусцептор обложен со TaC TaC облога Поддржувач и прстен TaC Делови за обложување Делови за полумесечина со TaC слој
SiC | TaC | |
Главни карактеристики | Ултра висока чистота, одлична отпорност на плазма | Одлична стабилност на високи температури (сообразност на процесот на висока температура) |
Чистота | >99,9999% | >99,9999% |
Густина (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Цврстина (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Отпорност [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Топлинска спроводливост (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Коефициент на термичка експанзија (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Апликација | Полупроводничка опрема Керамичка сложувалка (фокус прстен, туш глава, кукла нафора) | SiC Еднокристален раст, Epi, UV LED делови за опрема |
CVD TaC прекривката за обложување обезбедена од VeTek Semiconductor е високо специјализирана компонента дизајнирана специјално за тешки апликации. Со своите напредни карактеристики и исклучителни перформанси, нашата обвивка CVD TaC нуди неколку клучни предности. Нашиот CVD TaC облога ја обезбедува потребната заштита и перформанси потребни за успех. Со нетрпение очекуваме да ја истражиме потенцијалната соработка со вас!
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor е исклучителен производ за опремата за епитаксии на Aixtron. Цврстата облога TaC обезбедува одлична отпорност на висока температура и хемиска инертност. Оваа уникатна комбинација обезбедува сигурни перформанси и долг работен век, дури и во опкружувања со тешки барања. VeTek е посветен на обезбедување производи со висок квалитет и служи како долгорочен партнер на кинескиот пазар со конкурентни цени.
Прочитај повеќеИспрати барањеПлочата за поддршка на подлогата за обложување TaC на VeTek Semiconductor е високопрецизен производ дизајниран да ги задоволи специфичните барања на процесите на полупроводничка епитаксија. Со својата обвивка TaC, отпорност на висока температура и хемиска инертност, нашиот производ ви дава моќ да произведувате висококвалитетни EPI слоеви со висок квалитет. Посветени сме на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеЧак за обложување TaC на VeTek Semiconductor се одликува со висококвалитетна TaC обвивка, позната по својата извонредна отпорност на висока температура и хемиска инертност, особено во процесите на епитаксија на силициум карбид (SiC) (EPI). Со своите исклучителни карактеристики и супериорни перформанси, нашиот чак за обложување TaC нуди неколку клучни предности. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеLPE SiC Epi Halfmoon од VeTek Semiconductor, револуционерен производ дизајниран да ги подигне процесите на епитаксијата на SiC на реакторот LPE. Ова врвно решение може да се пофали со неколку клучни карактеристики кои обезбедуваат супериорни перформанси и ефикасност во текот на вашите производствени операции. Со нетрпение очекуваме да воспоставиме долгорочна соработка со вас.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител и снабдувач во Кина за полумесечина обложена со тантал карбид TaC, ние сме специјализирани за истражување и развој и производство, можеме добро да го контролираме квалитетот и да понудиме конкурентна цена. Добредојдени сте да ја посетите нашата фабрика за понатамошна дискусија за долгорочна соработка.
Прочитај повеќеИспрати барање