Уникатните карбидни облоги на VeTek Semiconductor обезбедуваат супериорна заштита за графитните делови во SiC Epitaxy Process за обработка на барани полупроводнички и композитни полупроводнички материјали. Резултатот е продолжен век на графитната компонента, зачувување на реакциската стехиометрија, инхибиција на миграцијата на нечистотијата до апликациите за епитаксија и раст на кристалите, што резултира со зголемен принос и квалитет.
Нашите облоги од тантал карбид (TaC) ги штитат критичните компоненти на печката и реакторот на високи температури (до 2200°C) од врел амонијак, водород, силициумски пареи и стопени метали. VeTek Semiconductor има широк опсег на способности за обработка и мерење на графит за да ги задоволи вашите приспособени барања, за да можеме да понудиме облога што се плаќа или целосна услуга, со нашиот тим од стручни инженери подготвени да го дизајнираат вистинското решение за вас и вашата специфична апликација .
Сложени полупроводнички кристали
VeTek Semiconductor може да обезбеди специјални TaC облоги за различни компоненти и носачи. Преку водечкиот процес на обложување на VeTek Semiconductor во индустријата, TaC облогата може да добие висока чистота, висока температурна стабилност и висока хемиска отпорност, а со тоа да го подобри квалитетот на производот на кристалните TaC/GaN) и EPl слоевите и да го продолжи животниот век на критичните компоненти на реакторот.
Топлински изолатори
Компоненти за раст на кристалите SiC, GaN и AlN, вклучително садници, држачи за семиња, дефлектори и филтри. Индустриски склопови вклучувајќи резистивни грејни елементи, млазници, заштитни прстени и лемење, GaN и SiC епитаксијални CVD-реакторски компоненти, вклучувајќи носачи на нафора, сателитски фиоки, глави за туширање, капи и постаменти, компоненти MOCVD.
LED (диода што емитува светлина) носач за нафора
ALD (полупроводнички) ресивер
ЕПИ рецептор (процес на епитаксија на SiC)
Сателитски сусцептор обложен со TaC TaC облога Поддржувач и прстен TaC Делови за обложување Делови за полумесечина со TaC слој
SiC | TaC | |
Главни карактеристики | Ултра висока чистота, одлична отпорност на плазма | Одлична стабилност на високи температури (сообразност на процесот на висока температура) |
Чистота | >99,9999% | >99,9999% |
Густина (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Цврстина (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Отпорност [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Топлинска спроводливост (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Коефициент на термичка експанзија (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Апликација | Полупроводничка опрема Керамичка сложувалка (фокус прстен, туш глава, кукла нафора) | SiC Еднокристален раст, Epi, UV LED делови за опрема |
VeTek Semiconductor е водечки производител на прстен со три ливчиња обложен TaC и иноватор во Кина. Ние сме специјализирани за обложување TaC и SiC многу години. Нашите производи имаат отпорност на корозија, висока јачина. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител на чак обложен со тантал карбид и иноватор во Кина. Ние сме специјализирани за TaC облога многу години. Нашите производи имаат висока чистота и отпорност на високи температури до 2000℃. Со нетрпение очекуваме да станеме ваши долгорочни партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител и иноватор на обвивка обложена со тантал карбид и иноватор во Кина. Ние сме специјализирани за обложување TaC и SiC многу години. Нашите производи имаат отпорност на корозија, висока јачина. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е водечки производител и иноватор на облога за облога од тантал карбид во Кина. Се фокусираме на обезбедување производи од тантал карбид со висока чистота, отпорни на високи температури. Нашиот капак обложен со тантал карбид има одлични перформанси и доверливост и може ефикасно да ги заштити материјалите во екстремно високи температури и корозивни средини. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеДефлекторски прстен обложен со TaC на VeTek Semiconductor е високо специјализирана компонента дизајнирана за процеси на раст на SiC кристали. Облогата TaC обезбедува одлична отпорност на високи температури и хемиска инертност за справување со високите температури и корозивни средини за време на процесот на растење на кристалите. Ова обезбедува стабилни перформанси и долг животен век на компонентата, намалувајќи ја фреквенцијата на замена и прекини. Посветени сме на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е голем TaC обложен прстен за SiC епитаксиален реактор производител и иноватор во Кина. Ние сме специјализирани за TaC облога многу години. Нашите производи имаат висока чистота, висока стабилност, одлична отпорност на корозија, висока јачина на врската. напред да стане ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање