Дома > Производи > Тантал карбид облога > Процес на епитаксија на SiC

Кина Процес на епитаксија на SiC Производител, добавувач, фабрика

Уникатните карбидни облоги на VeTek Semiconductor обезбедуваат супериорна заштита за графитните делови во SiC Epitaxy Process за обработка на барани полупроводнички и композитни полупроводнички материјали. Резултатот е продолжен век на графитната компонента, зачувување на реакциската стехиометрија, инхибиција на миграцијата на нечистотијата до апликациите за епитаксија и раст на кристалите, што резултира со зголемен принос и квалитет.

Нашите облоги од тантал карбид (TaC) ги штитат критичните компоненти на печката и реакторот на високи температури (до 2200°C) од врел амонијак, водород, силициумски пареи и стопени метали. VeTek Semiconductor има широк опсег на способности за обработка и мерење на графит за да ги задоволи вашите приспособени барања, за да можеме да понудиме облога што се плаќа или целосна услуга, со нашиот тим од стручни инженери подготвени да го дизајнираат вистинското решение за вас и вашата специфична апликација .

Сложени полупроводнички кристали

VeTek Semiconductor може да обезбеди специјални TaC облоги за различни компоненти и носачи. Преку водечкиот процес на обложување на VeTek Semiconductor во индустријата, TaC облогата може да добие висока чистота, висока температурна стабилност и висока хемиска отпорност, а со тоа да го подобри квалитетот на производот на кристалните TaC/GaN) и EPl слоевите и да го продолжи животниот век на критичните компоненти на реакторот.

Топлински изолатори

Компоненти за раст на кристалите SiC, GaN и AlN, вклучително садници, држачи за семиња, дефлектори и филтри. Индустриски склопови вклучувајќи резистивни грејни елементи, млазници, заштитни прстени и лемење, GaN и SiC епитаксијални CVD-реакторски компоненти, вклучувајќи носачи на нафора, сателитски фиоки, глави за туширање, капи и постаменти, компоненти MOCVD.


Цел:

LED (диода што емитува светлина) носач за нафора

ALD (полупроводнички) ресивер

ЕПИ рецептор (процес на епитаксија на SiC)


Споредба на SiC облогата и TaC облогата:

SiC TaC
Главни карактеристики Ултра висока чистота, одлична отпорност на плазма Одлична стабилност на високи температури (сообразност на процесот на висока температура)
Чистота >99,9999% >99,9999%
Густина (g/cm 3) 3.21 15
Цврстина (kg/mm ​​2) 2900-3300 6,7-7,2
Отпорност [Ωcm] 0,1-15.000 <1
Топлинска спроводливост (W/m-K) 200-360 22
Коефициент на термичка експанзија (10-6/℃) 4,5-5 6.3
Апликација Полупроводничка опрема Керамичка сложувалка (фокус прстен, туш глава, кукла нафора) SiC Еднокристален раст, Epi, UV LED делови за опрема


View as  
 
Плоча за обложување TaC

Плоча за обложување TaC

TaC облогата на VeTek Semiconductor's TaC е извонреден производ кој нуди исклучителни карактеристики и предности. Дизајнирана со прецизност и конструирана до совршенство, нашата TaC плоча за обложување е специјално прилагодена за различни апликации во процесите на раст на еднокристално силициум карбид (SiC). и ефикасно работење. Неговите сигурни перформанси и висококвалитетна облога придонесуваат за конзистентни и униформни резултати во апликациите за раст на SiC кристалите. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Прочитај повеќеИспрати барање
CVD TaC облога

CVD TaC облога

CVD TaC прекривката за обложување обезбедена од VeTek Semiconductor е високо специјализирана компонента дизајнирана специјално за тешки апликации. Со своите напредни карактеристики и исклучителни перформанси, нашата обвивка CVD TaC нуди неколку клучни предности. Нашиот CVD TaC облога ја обезбедува потребната заштита и перформанси потребни за успех. Со нетрпение очекуваме да ја истражиме потенцијалната соработка со вас!

Прочитај повеќеИспрати барање
Планетарен сусцептор за обложување TaC

Планетарен сусцептор за обложување TaC

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor е исклучителен производ за опремата за епитаксии на Aixtron. Цврстата облога TaC обезбедува одлична отпорност на висока температура и хемиска инертност. Оваа уникатна комбинација обезбедува сигурни перформанси и долг работен век, дури и во опкружувања со тешки барања. VeTek е посветен на обезбедување производи со висок квалитет и служи како долгорочен партнер на кинескиот пазар со конкурентни цени.

Прочитај повеќеИспрати барање
Плоча за поддршка на пиедесталот за обложување TaC

Плоча за поддршка на пиедесталот за обложување TaC

Плочата за поддршка на подлогата за обложување TaC на VeTek Semiconductor е високопрецизен производ дизајниран да ги задоволи специфичните барања на процесите на полупроводничка епитаксија. Со својата обвивка TaC, отпорност на висока температура и хемиска инертност, нашиот производ ви дава моќ да произведувате висококвалитетни EPI слоеви со висок квалитет. Посветени сме на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Прочитај повеќеИспрати барање
Чак за обложување TaC

Чак за обложување TaC

Чак за обложување TaC на VeTek Semiconductor се одликува со висококвалитетна TaC обвивка, позната по својата извонредна отпорност на висока температура и хемиска инертност, особено во процесите на епитаксија на силициум карбид (SiC) (EPI). Со своите исклучителни карактеристики и супериорни перформанси, нашиот чак за обложување TaC нуди неколку клучни предности. Ние сме посветени на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Прочитај повеќеИспрати барање
LPE SiC EPI Halfmoon

LPE SiC EPI Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon од VeTek Semiconductor, револуционерен производ дизајниран да ги подигне процесите на епитаксијата на SiC на реакторот LPE. Ова врвно решение може да се пофали со неколку клучни карактеристики кои обезбедуваат супериорни перформанси и ефикасност во текот на вашите производствени операции. Со нетрпение очекуваме да воспоставиме долгорочна соработка со вас.

Прочитај повеќеИспрати барање
<...23456>
Како професионален Процес на епитаксија на SiC производител и добавувач во Кина, имаме сопствена фабрика. Без разлика дали ви требаат приспособени услуги за да ги задоволите специфичните потреби на вашиот регион или сакате да купите напредни и издржливи Процес на епитаксија на SiC произведени во Кина, можете да ни оставите порака.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept