VEECO MOCVD Грејач

Грејачот VEECO MOCVD на VeTeksemi е направен од графит материјал со висока чистота со содржина на нечистотии строго контролирана под 5 ppm, и обложен со силициум карбид со ултра висока чистота (SiC) со чистота од повеќе од 99,99995% прекупроцес на хемиско таложење на пареа (CVD).. Оваа комбинација на материјали му дава на грејачот низа клучни својства кои обезбедуваат негови одлични перформанси вометална органска хемиска таложење на пареа (MOCVD)процес.

Една од извонредните карактеристики на грејачот VEECO MOCVD е неговата извонредна хемиска чистота. Графитното јадро со висока чистота во голема мера го намалува потенцијалното внесување на загадувачи во процесот на висока температура, обезбедувајќи ултра чист процес на таложење на филм. НаCVD SiC облогаобезбедува дополнителна заштита за грејачот, формирајќи силна бариера за да се спречат хемиски реакции кои можат да го оштетат квалитетот на филмот. Оваа неспоредлива чистота е од суштинско значење за производство на полупроводнички уреди со високи перформанси, сигурни.

Во исто време, грејачот покажува исклучително висока термичка стабилност и ефикасност. SiC има висока точка на топење и одлична топлинска спроводливост, што му овозможува на грејачот ефикасно да управува и да спроведува топлина. Ова обезбедува подеднакво загревање низ подлогата, што пак помага да се постигне еднообразно таложење на филмот и да се намалат дефектите предизвикани од термички градиенти. Таквата термичка ефикасност е особено важна за прецизното производство.

Грејачот VEECO MOCVD исто така се истакнува во електричните перформанси. Неговото графитно јадро со висока чистота има одлична електрична спроводливост, што му овозможува на грејачот да се справи со високите барања за електрично оптоварување. Оваа стабилна електрична изведба му овозможува на грејачот да одржува прецизна контрола на температурата и стапка на таложење во услови на големо оптоварување, што е од клучно значење за обезбедување на конзистентни услови на процесот и подобрување на ефикасноста на производството на полупроводници.

Дизајнот на површината на грејачот е внимателно оптимизиран за да има висока емисионост на подлогата, што значително ја подобрува ефикасноста на радијативниот пренос на топлина. Способноста за рамномерно загревање е клучен фактор за обезбедување конзистентна дебелина и карактеристики на таложење на филмот. Дизајнот на површината со висока емисионост, исто така, ја подобрува целокупната топлинска ефикасност на грејачот, а со тоа ја намалува потрошувачката на енергија и ги намалува оперативните трошоци.

Во однос на издржливоста, грејачот VEECO MOCVD на VeTeksemi покажува одлична отпорност на корозија, отпорност на оксидација и механичка сила. CVD SiC облогата обезбедува цврста бариера за корозивните гасови и хемикалиите вообичаени во процесите на MOCVD, а со тоа го продолжува животниот век на опремата и ги намалува потребите за одржување и трошоците за замена. Неговата отпорност на оксидација гарантира дека грејачот останува стабилен на високи температури без деградација на перформансите, обезбедувајќи долгорочна стабилност.

Дополнително, високата механичка сила на грејачот MOCVD на VeTeksemi му овозможува да ги издржи физичките напрегања што се создаваат при термички циклус и ракување со подлогата. Неговата робусност го намалува ризикот од механички дефект и обезбедува сигурна работа на опремата под тешки услови на процесот.

Како напреден производител и добавувач на производи за грејачи VEECO MOCVD, VeTeksemi обезбедува и различни висококвалитетни производи за грејачи како што сеГрејач за обложување TaC, силициум карбид керамички слој графит грејач, грејач за керамички облоги од силициум карбид, итн. VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување напредна и приспособлива технологија и решенија за производи за индустријата за полупроводници. Искрено се надеваме дека ќе бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.