грејач за керамички облоги од силициум карбид

Полупроводник VeTekГрејач со керамички облоги од силикон карбид е грејач дизајниран за високи температури и сурови средини. Тој премачкува слој од силициум јаглерод-керамички слој (SiC) на површината на грејниот елемент за да и даде на опремата одлична отпорност на топлина, отпорност на корозија и топлинска спроводливост. 

Грејач со керамички облоги од силициум карбидглавно се користи во опрема за вакуум обложување (испарување). Најчесто користени методи се PCD (Плазма хемиско сушење) и PVD (физичко таложење на пареа), кои се широко користени во производството на полупроводници и други индустриски апликации со висока побарувачка.

Во комбинација со дизајнот на облогата со високи перформанси на грејач со керамички облоги од силикон карбид,може да обезбеди одлично решение за греење за процеси со висока температура.

Одлична топлинска спроводливост: Материјалот SiC има одлична топлинска спроводливост, осигурувајќи дека грејачот може да постигне рамномерна дистрибуција на топлина во работната површина и да ги намали температурните градиенти.

Обезбедете униформа дистрибуција на топлина: Грејач со керамички облоги од силикон карбид ја користи високата топлинска спроводливост на материјалот SiC за да постигне рамномерна распределба на температурата низ грејната област. Ова е од клучно значење за да се обезбеди униформа термичка обработка на полупроводничките наполитанки во различни процеси на висока температура, како што се брза термичка обработка (RTP), дифузија и оксидација, избегнувајќи дефекти на производот предизвикани од локално прегревање или нерамна температура.

Толеранција на висока температура: Облогата со SiC му овозможува на грејачот да издржи екстремно високи температури, обично до 1600°C, погодни за различни процеси на обработка на високи температури.

Подобрете ја отпорноста на топлина: Бидејќи облогата може да издржи екстремно високи температури, тој добро функционира во процеси кои бараат долгорочна работа на висока температура. На пример, во процесите на хемиско таложење на пареа (CVD), грејачот со керамички облоги со силикон карбид може да обезбеди долгорочна стабилна работа на опремата на високи температури и да одржува постојани перформанси на загревање, а со тоа да ја подобри повторливоста и доверливоста на процесот.

Отпорност на хемиска корозија: Облогата на SiC има исклучително висока отпорност на киселински, алкални и корозивни гасови и може да остане стабилна долго време во сложена хемиска атмосфера, со што го продолжува животниот век на опремата. 

Продолжување на животниот век на опремата: SiC облогата има одлична отпорност на оксидација и отпорност на корозија, и може ефикасно да се спротивстави на хемиската ерозија и оксидација на високи температури. Ова е многу критично во процесот на производство на полупроводници, особено во средина која се справува со корозивни гасови и хемикалии. Заштитниот ефект на облогата може значително да го продолжи работниот век на грејачот и да ја намали зачестеноста на трошоците за замена и одржување на опремата.

Основни физички својства на силициум карбид керамички премаз грејач:

Продавници за грејачи на VeTek Semiconductor силициум карбид керамички облоги:

Преглед на синџирот на индустријата за епитаксии со полупроводнички чипови VeTek: