Силикон карбид керамички слој

Полупроводник Ветек Силикон карбид керамички слоје заштитна обвивка со високи перформанси изработена од екстремно тврд и отпорен на абење материјал силициум карбид (SiC), кој обезбедува одлична отпорност на хемиска корозија и висока температурна стабилност. Овие својства се клучни во производството на полупроводници, така што керамичката облога со силициум карбид е широко користена на клучните компоненти на опремата за производство на полупроводници.

Специфичната улога што ја игра Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating во производството на полупроводници екако што следува:

Зголемете ја издржливоста на опремата: Керамичкиот слој од силикон карбид обезбедува одлична заштита на површината за опремата за производство на полупроводници со својата исклучително висока цврстина и отпорност на абење. Особено во високотемпературни, високо корозивни процесни средини, како што се хемиско таложење на пареа (CVD) и плазма офорт, керамичката облога од силициум карбид може ефикасно да спречи оштетување на површината на опремата поради хемиска ерозија или физичко абење, а со тоа значително да го продолжи работниот век на опремата и намалување на времето на застој предизвикано од честа замена и одржување.

Подобрете ја чистотата на процесот: Во процесот на производство на полупроводници, секоја мала контаминација може да предизвика дефекти на производот. Хемиската инертност на керамичката обвивка од силициум карбид му овозможува да остане стабилна во екстремни услови, да го спречи материјалот да ослободува честички или нечистотии и да ја обезбеди чистотата на околината за време на процесот. Ова е особено важно за чекори на производство кои бараат висока прецизност и висока чистота, како што се PECVD и имплантација на јони.

Оптимизирајте го термичкото управување: При полупроводничка обработка на висока температура, како што се брза термичка обработка (RTP) и процеси на оксидација, високата топлинска спроводливост на керамичката облога од силикон карбид овозможува рамномерна распределба на температурата внатре во опремата. Ова помага да се намали топлинскиот стрес и деформацијата на материјалот предизвикани од температурните флуктуации, а со тоа да се подобри прецизноста и конзистентноста на производството на производот.

Поддржете сложена процесна средина: Во процесите кои бараат сложена контрола на атмосферата, како што се процесите на офорт на ICP и PSS, стабилноста и отпорноста на оксидација на грејачот со керамички облоги со силициум карбид обезбедуваат стабилни перформанси на опремата при долготрајна работа, намалувајќи го ризикот од деградација на материјалот или опремата штета поради промени во животната средина.

Полупроводник Ветексе фокусира на производство и снабдување со високи перформансиСиликон карбид керамички слој, и е посветен на обезбедување напредна технологија и решенија за производи за индустријата за полупроводници.Искрено се надеваме дека ќе бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Основни физички својства наСиликон карбид керамички слој:

Продавници за полупроводнички силикон карбид керамички облоги на VeTek:

Преглед на синџирот на индустријата за епитаксии со полупроводнички чипови: