силициум карбид керамички слој графит грејач

Полупроводник VeTek Силикон карбид керамички слој Графитен грејачја комбинира одличната електрична и топлинска спроводливост на графитот со висока температурна отпорност, отпорност на корозија и отпорност на абење на силициум јаглерод-керамичката обвивка и е дизајниран за сурови производни средини на полупроводници. 

Силикон карбид керамичка облога графит грејачглавно се користи во опрема за вакуумско обложување (испарување), а методите кои најчесто се користат се PCD (Плазма Хемиско сушење) и PVD (Физичко таложење на пареа). Овој производ одигра важна улога во промовирањето на технолошкиот напредок и подобрувањето на производната ефикасност во индустријата за полупроводници.Искрено очекуваме понатамошна соработка со вас.

Материјалните и структурните карактеристики на графитниот грејач со керамички облоги од силикон карбид се како што следува:

Графитна подлога: Графитот е познат по високата топлинска спроводливост и нискиот коефициент на термичка експанзија. Може брзо да реагира на температурни промени и да одржува структурна стабилност при високи температури.

Силикон јаглерод-керамичка обвивка: SiC облогата е рамномерно обложена на површината на графитот преку хемиско таложење на пареа или други напредни процеси. SiC има исклучително висока цврстина и хемиска отпорност на корозија, што може да ја заштити графитната подлога од оксидација со висока температура и корозивни средини.

Специјалниот структурен дизајн на производот на грејачот на графит со керамичка облога од силикон карбид го одредуванезаменливите производни предности на овој производ во процесот на полупроводничка обработка:

Ефикасно и униформно греење:

Топлинска спроводливост: Високата топлинска спроводливост на графитот му овозможува на грејачот брзо да ја достигне и одржува потребната температура, а слојот SiC обезбедува рамномерна дистрибуција на топлината. Ова е особено важно за полупроводничките процеси кои бараат прецизна контрола на температурата, како што се брза термичка обработка (RTP) и хемиско таложење на пареа (CVD).

Еднообразност на температурата: Преку униформа дистрибуција на топлина, грејачот на графит со керамичка облога од силикон карбид може ефикасно да го намали термичкиот стрес и температурниот градиент, обезбедувајќи конзистентност и стабилност на квалитетот на полупроводничките обланди во текот на процесот на загревање.

Антикорозивна заштита:

Хемиска отпорност: Отпорноста на хемиска корозија на облогата SiC му овозможува на грејачот да работи стабилно и долго време во корозивни гасови и хемиски средини, избегнувајќи оштетување на графитната подлога. Оваа карактеристика е особено критична во процесите како што се хемиско таложење на пареа (CVD) и хемиско таложење на пареа подобрено со плазма (PECVD).

Отпорност на оксидација: При високи температури, облогата SiC може да спречи оксидација на графитната подлога, да го продолжи работниот век на грејачот и да ја намали зачестеноста и трошоците за одржување на опремата.

Намалете ја контаминацијата со честички:

Површинска стабилност: Облогата со SiC не е само отпорна на абење, туку и спречува честички да паѓаат од површината на материјалот поради термички циклус или хемиски реакции, со што се намалува ризикот од контаминација со честички што може да се појави за време на производството на полупроводници и обезбедувајќи средина на процесот со висока чистота.

Подобрете ја сигурноста и ефикасноста на процесот:

Дизајн со долг животен век: Поради комбинацијата на механичката цврстина на графитот и отпорноста на абење на облогата на SiC, грејачот на графит со керамичка облога од силициум карбид може да одржува високо-ефикасно работење долго време под тешки услови на процесот, што значително ја подобрува севкупната сигурност на опремата.

Ефикасно искористување на енергијата: Високата топлинска спроводливост на графитот и високата температурна стабилност на SiC облогата му овозможуваат на грејачот да ја намали потрошувачката на енергија додека ја подобрува точноста на контролата на температурата, а со тоа ја подобрува севкупната ефикасност на производството на полупроводници.

Основни физички својства наСиликон карбид керамички слој Графитен грејач:

Полупроводник VeTekСиликон карбид керамички слој Графитен грејачпродавници:

Преглед на синџирот на индустријата за епитаксии со полупроводнички чипови:

/друго-процес