Што е TaC облога?

TaC облогата (Tantalum Carbide Coating) е материјал за обложување со високи перформанси произведен со процес на хемиско таложење на пареа (CVD). Поради одличните својства на TaC облогата во екстремни услови, тој е широко користен во процесот на производство на полупроводници, особено во опрема и компоненти кои бараат висока температура и силна корозивна средина. TaC облогата обично се користи за заштита на подлогите (како што се графит или керамика) од оштетување од висока температура, корозивни гасови и механичко абење.

Карактеристики и предности на производот

Исклучително висока термичка стабилност:

Опис на карактеристиката: TaC облогата има точка на топење поголема од 3880°C и може да одржува стабилност без распаѓање или деформација во средина со екстремно високи температури.

Предност: Ова го прави неопходен материјал во полупроводничка опрема со висока температура како што се CVD TaC Coating и TaC Coated Susceptor, особено за апликации во MOCVD реактори, како што е опремата Aixtron G5.

Одлична отпорност на корозија:

Опис на карактеристиката: TaC има исклучително силна хемиска инертност и може ефективно да се спротивстави на ерозијата на корозивни гасови како што се хлоридите и флуоридите.

Предности: Во полупроводничките процеси кои вклучуваат висококорозивни хемикалии, TaC Coating ги заштитува компонентите на опремата од хемиски напад, го продолжува работниот век и ја подобрува стабилноста на процесот, особено при примена на чамец со нафора од силикон карбид и други клучни компоненти.

Одлична механичка цврстина:

Опис на карактеристиката: Тврдоста на TaC облогата е висока од 9-10 Mohs, што го прави отпорен на механичко абење и високи температури.

Предност: Својството со висока цврстина го прави TaC слојот особено погоден за употреба во средини со големо абење и висок стрес, обезбедувајќи долгорочна стабилност и доверливост на опремата под тешки услови.

Ниска хемиска реактивност:

Опис на карактеристиката: Поради својата хемиска инертност, TaC Coating може да одржува ниска реактивност во средини со висока температура и да избегне непотребни хемиски реакции со реактивни гасови.

Предност: Ова е особено важно во процесот на производство на полупроводници бидејќи обезбедува чистота на околината на процесот и висококвалитетно таложење на материјалите.

Улогата на TaC Coating во полупроводничка обработка

Заштита на клучните компоненти на опремата:

Опис на функцијата: TaC облогата е широко користена во клучните компоненти на опремата за производство на полупроводници, како што е TaC Coated Susceptor, која треба да работи во екстремни услови. Со обложување со TaC, овие компоненти можат да работат долги временски периоди во средини со висока температура и корозивни гасови без да бидат оштетени.

Продолжете го животниот век на опремата:

Опис на функцијата: Во опремата MOCVD како Aixtron G5, TaC Coating може значително да ја подобри издржливоста на компонентите на опремата и да ја намали потребата за одржување и замена на опремата поради корозија и абење.

Подобрете ја стабилноста на процесот:

Опис на функцијата: Во производството на полупроводници, TaC Coating обезбедува униформност и конзистентност на процесот на таложење преку обезбедување стабилна висока температура и хемиска средина. Ова е особено важно во процесите на епитаксијален раст како што се силициумската епитаксија и галиум нитрид (GaN).

Подобрете ја ефикасноста на процесот:

Опис на функцијата: Со оптимизирање на облогата на површината на опремата, TaC Coating може да ја подобри севкупната ефикасност на процесот, да ја намали стапката на дефекти и да го зголеми приносот на производот. Ова е критично за производство на високопрецизни полупроводнички материјали со висока чистота.

Високата термичка стабилност, одличната отпорност на корозија, механичката цврстина и ниската хемиска реактивност што ги покажува TaC Coating за време на полупроводничката обработка го прават идеален избор за заштита на компонентите на опремата за производство на полупроводници. Бидејќи побарувачката на индустријата за полупроводници за високи температури, висока чистота и ефикасни производни процеси продолжува да се зголемува, TaC Coating има широки можности за примена, особено во опрема и процеси кои вклучуваат CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor и Aixtron G5.

VeTek semiconductor Technology Co., LTD е водечки снабдувач на напредни материјали за обложување за индустријата за полупроводници. нашата компанија се фокусира на развој на најсовремени решенија за индустријата.

Нашите главни понуди на производи вклучуваат CVD премази од силициум карбид (SiC), облоги од тантал карбид (TaC), рефус SiC, прашоци од SiC и високо чисти SiC материјали, графит обложен со SiC, прстени за предзагревање, прстен за пренасочување обложен TaC, делови за полумесечина итн. ., чистотата е под 5 ppm, може да ги задоволи барањата на клиентите.

Полупроводничките VeTek се фокусираат на развој на најсовремена технологија и решенија за развој на производи за индустријата за полупроводници.Искрено се надеваме дека ќе станеме ваш долгорочен партнер во Кина.