VeTek Semiconductor е ваш иновативен партнер во областа на обработка на полупроводници. Со нашето широко портфолио на комбинации на материјали од силикон карбид керамика од полупроводничка класа, способности за производство на компоненти и услуги за апликативно инженерство, можеме да ви помогнеме да надминете значајни предизвици. Инженерската техничка керамика од силикон карбид е широко применета во индустријата за полупроводници поради нивните исклучителни материјални перформанси. Ултра-чистата керамика со силикон карбид на VeTek Semiconductor често се користи во текот на целиот циклус на производство и обработка на полупроводници.
VeTek Semiconductor обезбедува инженерски керамички компоненти специјално дизајнирани за сериска дифузија и барања за LPCVD, вклучувајќи:
• Прегради и држачи
• Инјектори
• Облоги и процесни цевки
• Конзолни лопатки од силициум карбид
• Нафора и постаменти
SiC конзола лопатка SiC процесни цевки Процесна цевка со силикон карбид SiC вертикален брод со нафора SiC хоризонтален брод со нафора SiC хоризонтални кварт на нафора брод Брод со нафора SiC LPCVD Брод со хоризонтална плоча SiC SiC тркалезен брод со нафора
Минимизирајте ја контаминацијата и непланираното одржување со компоненти со висока чистота дизајнирани за строгоста на обработката на плазма офорт, вклучувајќи:
Фокус прстени
Млазници
Штитови
Туш кабини
Прозорци / капаци
Други сопствени компоненти
VeTek Semiconductor обезбедува напредни материјални компоненти приспособени за апликации за термичка обработка на висока температура во индустријата за полупроводници. Овие апликации опфаќаат RTP, Epi процеси, дифузија, оксидација и жарење. Нашата техничка керамика е дизајнирана да издржи термички удари, обезбедувајќи сигурни и постојани перформанси. Со компонентите на VeTek Semiconductor, производителите на полупроводници можат да постигнат ефикасна и висококвалитетна термичка обработка, придонесувајќи за севкупниот успех на производството на полупроводници.
• Дифузери
• Изолатори
• Сензиптори
• Други сопствени термички компоненти
Физички својства на рекристализиран силициум карбид | |
Имотот | Типична вредност |
Работна температура (°C) | 1600°C (со кислород), 1700°C (редуцирачка средина) |
Содржина на SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Бесплатна Si содржина | < 0,1% |
Масовна густина | 2,60-2,70 g/cm3 |
Очигледна порозност | < 16% |
Јачина на компресија | > 600 MPa |
Јачина на ладно свиткување | 80-90 MPa (20°C) |
Топла сила на свиткување | 90-100 MPa (1400°C) |
Термичка експанзија @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Топлинска спроводливост @1200°C | 23 W/m•K |
Еластичен модул | 240 GPa |
Отпорност на термички шок | Исклучително добро |
Бродот со силициум карбид со висока чистота на VeTek Semiconductor е направен од исклучително чист материјал од силициум карбид со одлична термичка стабилност, механичка сила и хемиска отпорност. Бродот со силикон карбид со висока чистота се користи во апликациите за топла зона во производството на полупроводници, особено во средини со високи температури, и игра важна улога во заштитата на наполитанките, транспортот на материјалите и одржувањето стабилни процеси. VeTek Semiconductor ќе продолжи да работи напорно за да иновира и да ги подобри перформансите на високо-чистотниот чамец со нафора од силикон карбид за да ги задоволи растечките потреби на производството на полупроводници. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е професионален производител и снабдувач, посветен на обезбедување висококвалитетен ултра чист силикон карбид во прав за кристален раст. Со чистота до 99,999% wt и екстремно ниски нивоа на нечистотии на азот, бор, алуминиум и други загадувачи, тој е специјално дизајниран да ги подобри полуизолационите својства на силициум карбид со висока чистота. Добредојдовте да се распрашате и да соработувате со нас!
Прочитај повеќеИспрати барање