VeTek Semiconductor е ваш иновативен партнер во областа на обработка на полупроводници. Со нашето широко портфолио на комбинации на материјали од силикон карбид керамика од полупроводничка класа, способности за производство на компоненти и услуги за апликативно инженерство, можеме да ви помогнеме да надминете значајни предизвици. Инженерската техничка керамика од силикон карбид е широко применета во индустријата за полупроводници поради нивните исклучителни материјални перформанси. Ултра-чистата керамика со силикон карбид на VeTek Semiconductor често се користи во текот на целиот циклус на производство и обработка на полупроводници.
VeTek Semiconductor обезбедува инженерски керамички компоненти специјално дизајнирани за сериска дифузија и барања за LPCVD, вклучувајќи:
• Прегради и држачи
• Инјектори
• Облоги и процесни цевки
• Конзолни лопатки од силициум карбид
• Нафора и постаменти
SiC конзола лопатка SiC процесни цевки Процесна цевка со силикон карбид SiC вертикален брод со нафора SiC хоризонтален брод со нафора SiC хоризонтални кварт на нафора брод Брод со нафора SiC LPCVD Брод со хоризонтална плоча SiC SiC тркалезен брод со нафора
Минимизирајте ја контаминацијата и непланираното одржување со компоненти со висока чистота дизајнирани за строгоста на обработката на плазма офорт, вклучувајќи:
Фокус прстени
Млазници
Штитови
Туш кабини
Прозорци / капаци
Други сопствени компоненти
VeTek Semiconductor обезбедува напредни материјални компоненти приспособени за апликации за термичка обработка на висока температура во индустријата за полупроводници. Овие апликации опфаќаат RTP, Epi процеси, дифузија, оксидација и жарење. Нашата техничка керамика е дизајнирана да издржи термички удари, обезбедувајќи сигурни и постојани перформанси. Со компонентите на VeTek Semiconductor, производителите на полупроводници можат да постигнат ефикасна и висококвалитетна термичка обработка, придонесувајќи за севкупниот успех на производството на полупроводници.
• Дифузери
• Изолатори
• Сензиптори
• Други сопствени термички компоненти
Физички својства на рекристализиран силициум карбид | |
Имотот | Типична вредност |
Работна температура (°C) | 1600°C (со кислород), 1700°C (редуцирачка средина) |
Содржина на SiC / SiC | > 99,96% |
Si / Бесплатна Si содржина | < 0,1% |
Масовна густина | 2,60-2,70 g/cm3 |
Очигледна порозност | < 16% |
Јачина на компресија | > 600 MPa |
Јачина на ладно свиткување | 80-90 MPa (20°C) |
Топла сила на свиткување | 90-100 MPa (1400°C) |
Термичка експанзија @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Топлинска спроводливост @1200°C | 23 W/m•K |
Еластичен модул | 240 GPa |
Отпорност на термички шок | Исклучително добро |
VeTek Semiconductor обезбедува SiC процесни цевки со високи перформанси за производство на полупроводници. Нашите SiC процесни цевки се одлични во процесите на оксидација и дифузија. Со врвен квалитет и изработка, овие цевки нудат висока температурна стабилност и топлинска спроводливост за ефикасна полупроводничка обработка. Ние нудиме конкурентни цени и бараме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor's SiC Cantilever Paddle е производ со многу високи перформанси. Нашето SiC конзолно лопатка обично се користи во печки за термичка обработка за ракување и поддршка на силиконски наполитанки, хемиско таложење на пареа (CVD) и други процеси на обработка во процесите на производство на полупроводници. Високата температурна стабилност и високата топлинска спроводливост на SiC материјалот обезбедуваат висока ефикасност и сигурност во процесот на обработка на полупроводници. Посветени сме на обезбедување производи со висок квалитет по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е професионален производител и снабдувач во Кина за чамци со нафора од силициум карбид за хоризонтална печка, со долгогодишно искуство во истражување и развој и производство, може добро да го контролира квалитетот и да понуди конкурентна цена. Можете да бидете сигурни дека ќе го купите чамецот со нафора од силициум карбид за хоризонтална печка од нас.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е професионален производител и снабдувач во Кина за чамци со нафора со силикон карбид обложен со SiC, со долгогодишно искуство во истражување и развој и производство, може добро да го контролира квалитетот и да понуди конкурентна цена. Добредојдовте за посета на нашата фабрика и понатамошна дискусија за соработка.
Прочитај повеќеИспрати барањеКонзолната лопатка од силикон карбид на VeTek Semiconductor е важна компонента во процесот на производство на полупроводници, особено погодна за дифузни печки или LPCVD печки во процеси на висока температура како што се дифузија и RTP. Нашата лопатка со силикон карбид конзола е внимателно дизајнирана и произведена со одлична отпорност на висока температура и механичка сила, и може безбедно и сигурно да транспортира наполитанки до процесната цевка под тешки услови на процесот за различни процеси на висока температура како што се дифузија и RTP. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier се важни компоненти во полупроводничката обработка, дизајнирани за безбедно држење и транспортирање на деликатни силиконски наполитанки, играјќи клучна улога во сите фази на производството. Носачот на нафора со високо чист силикон карбид на VeTek Semiconductor е внимателно дизајниран и произведен за да обезбеди одлични перформанси и доверливост. VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување на квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање