VeTek Semiconductor е професионален производител и снабдувач во Кина за чамци со нафора со силикон карбид обложен со SiC, со долгогодишно искуство во истражување и развој и производство, може добро да го контролира квалитетот и да понуди конкурентна цена. Добредојдовте за посета на нашата фабрика и понатамошна дискусија за соработка.
VeTek Semiconductor е кинески производител и снабдувач кој главно произведува чамец со нафора со силикон карбид обложен со SiC со долгогодишно искуство. Се надеваме дека ќе изградиме деловни односи со вас. Бродот со нафора со силициум карбид обложен со SiC се користи во полупроводнички дифузни печки за носење на наполитанки за различни процеси на висока температура како што се имплантација на јони, дифузија и жарење. Може да обезбеди стабилна средина за наполитанките, обезбедувајќи температурна униформност и конзистентност при обработката.
Чамците со силикон карбид обложени со SiC имаат поголема отпорност на топлина и хемиска стабилност, што им овозможува да работат на повисоки температури и да обезбедат подолг животен век. Дополнително, тие имаат пониски стапки на испарување на материјалот и стапки на адсорпција на гас, што помага да се намали влијанието на нечистотиите врз обработката на нафора.
Можеме да произведуваме различни типови нафора со силициум карбид, како што се хоризонтални чамци со нафора, вертикални чамци со нафора и сите други прилагодени чамци.
1. Стабилност на висока температура
2. Хемиска инертност
3. Ниска содржина на нечистотија
4.Термичка спроводливост
Физички својства на рекристализиран силициум карбид | |
Имотот | Типична вредност |
Работна температура (°C) | 1600°C (со кислород), 1700°C (редуцирачка средина) |
Содржина на SiC | > 99,96% |
Бесплатна Si содржина | < 0,1% |
Масовна густина | 2,60-2,70 g/cm3 |
Очигледна порозност | < 16% |
Јачина на компресија | > 600 MPa |
Јачина на ладно свиткување | 80-90 MPa (20°C) |
Топла сила на свиткување | 90-100 MPa (1400°C) |
Термичка експанзија @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Топлинска спроводливост @1200°C | 23 W/m•K |
Еластичен модул | 240 GPa |
Отпорност на термички шок | Исклучително добро |