Оксидационите и дифузните печки се користат во различни области како што се полупроводнички уреди, дискретни уреди, оптоелектронски уреди, електронски уреди за напојување, соларни ќелии и производство на интегрални кола во големи размери. Тие се користат за процеси вклучувајќи дифузија, оксидација, жарење, легирање и синтерување на наполитанки.
VeTek Semiconductor е водечки производител специјализиран за производство на графит со висока чистота, силициум карбид и кварцни компоненти во печки за оксидација и дифузија. Посветени сме на обезбедување висококвалитетни компоненти за печки за полупроводничките и фотоволтаичните индустрии и сме во првите редови на технологијата за обложување на површините, како што се CVD-SiC, CVD-TaC, пиројаглеродот итн.
Отпорност на високи температури (до 1600℃)
Одлична топлинска спроводливост и топлинска стабилност
Добра хемиска отпорност на корозија
Низок коефициент на термичка експанзија
Висока јачина и цврстина
Долг работен век
Во печките за оксидација и дифузија, поради присуството на висока температура и корозивни гасови, многу компоненти бараат употреба на материјали со висока температура и отпорни на корозија, меѓу кои најчесто користен избор е силициум карбид (SiC). Следниве се вообичаените компоненти на силициум карбид кои се наоѓаат во печките за оксидација и дифузните печки:
Брод со нафора
Брод со нафора од силициум карбид е контејнер што се користи за носење силиконски наполитанки, кои можат да издржат високи температури и нема да реагираат со силиконски наполитанки.
Цевка за печка
Цевката на печката е основна компонента на дифузионата печка, која се користи за сместување на силиконски наполитанки и контрола на реакциската средина. Цевките за печка од силициум карбид имаат одлични перформанси на висока температура и отпорност на корозија.
Плоча за преграда
Се користи за регулирање на протокот на воздух и дистрибуција на температурата внатре во печката
Заштитна цевка за термоспој
Се користи за заштита на термопаровите за мерење на температурата од директен контакт со корозивни гасови.
Конзола лопатка
Конзолните лопатки со силициум карбид се отпорни на висока температура и корозија и се користат за транспорт на силиконски чамци или кварцни чамци кои носат силиконски наполитанки во цевките на дифузната печка.
Гасен инјектор
Се користи за внесување на реакционен гас во печката, таа треба да биде отпорна на висока температура и корозија.
Носач на чамци
Носачот за чамци со нафора од силициум карбид се користи за фиксирање и поддршка на силиконските наполитанки, кои имаат предности како што се висока јачина, отпорност на корозија и добра структурна стабилност.
Врата на печката
На внатрешната страна на вратата на печката може да се користат и премази или компоненти од силициум карбид.
Елемент за греење
Грејните елементи од силициум карбид се погодни за високи температури, висока моќност и можат брзо да ги зголемат температурите до над 1000℃.
SiC лагер
Се користи за заштита на внатрешниот ѕид на цевките од печката, може да помогне да се намали загубата на топлинска енергија и да се издржат суровите средини како што се висока температура и висок притисок.
VeTek Semiconductor's SiC Cantilever Paddle е производ со многу високи перформанси. Нашето SiC конзолно лопатка обично се користи во печки за термичка обработка за ракување и поддршка на силиконски наполитанки, хемиско таложење на пареа (CVD) и други процеси на обработка во процесите на производство на полупроводници. Високата температурна стабилност и високата топлинска спроводливост на SiC материјалот обезбедуваат висока ефикасност и сигурност во процесот на обработка на полупроводници. Посветени сме на обезбедување производи со висок квалитет по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е професионален производител и снабдувач во Кина за чамци со нафора од силициум карбид за хоризонтална печка, со долгогодишно искуство во истражување и развој и производство, може добро да го контролира квалитетот и да понуди конкурентна цена. Можете да бидете сигурни дека ќе го купите чамецот со нафора од силициум карбид за хоризонтална печка од нас.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor е професионален производител и снабдувач во Кина за чамци со нафора со силикон карбид обложен со SiC, со долгогодишно искуство во истражување и развој и производство, може добро да го контролира квалитетот и да понуди конкурентна цена. Добредојдовте за посета на нашата фабрика и понатамошна дискусија за соработка.
Прочитај повеќеИспрати барањеКонзолната лопатка од силикон карбид на VeTek Semiconductor е важна компонента во процесот на производство на полупроводници, особено погодна за дифузни печки или LPCVD печки во процеси на висока температура како што се дифузија и RTP. Нашата лопатка со силикон карбид конзола е внимателно дизајнирана и произведена со одлична отпорност на висока температура и механичка сила, и може безбедно и сигурно да транспортира наполитанки до процесната цевка под тешки услови на процесот за различни процеси на висока температура како што се дифузија и RTP. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier се важни компоненти во полупроводничката обработка, дизајнирани за безбедно држење и транспортирање на деликатни силиконски наполитанки, играјќи клучна улога во сите фази на производството. Носачот на нафора со високо чист силикон карбид на VeTek Semiconductor е внимателно дизајниран и произведен за да обезбеди одлични перформанси и доверливост. VeTek Semiconductor е посветен на обезбедување на квалитетни производи по конкурентни цени и со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеБродот со силициум карбид со висока чистота на VeTek Semiconductor е направен од исклучително чист материјал од силициум карбид со одлична термичка стабилност, механичка сила и хемиска отпорност. Бродот со силикон карбид со висока чистота се користи во апликациите за топла зона во производството на полупроводници, особено во средини со високи температури, и игра важна улога во заштитата на наполитанките, транспортот на материјалите и одржувањето стабилни процеси. VeTek Semiconductor ќе продолжи да работи напорно за да иновира и да ги подобри перформансите на високо-чистотниот чамец со нафора од силикон карбид за да ги задоволи растечките потреби на производството на полупроводници. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барање