EPI примател

EPI сензорот на VeTek Semiconductor е дизајниран за напорни апликации за епитаксијална опрема. Неговата графитна структура обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота нуди одлична отпорност на топлина, униформа топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпорност на епитаксијалниот слој и долготрајна хемиска отпорност. Со нетрпение очекуваме да соработуваме со вас.

Испрати барање

Опис на производот

VeTek Semiconductor е професионален лидер во Кина EPI приемник, ALD планетарен приемник, TaC обложен графит приемник.

EPI суцепторот на VeTek Semiconductor е важна компонента на епитаксијалниот раст во процесот на производство на полупроводници. Неговата главна функција е да ја поддржи и загрева нафората така што висококвалитетниот епитаксијален слој може рамномерно да се одгледува на површината на обландата.

EPI сензорите на VeTek Semiconductors обично се направени од графит со висока чистота и се обложени со слој од силициум карбид (SiC). Овој дизајн ги има следниве клучни предности:

Стабилност на висока температура: ЕПИ суцепторот може да остане стабилен во средина со висока температура, обезбедувајќи рамномерен раст на епитаксијалниот слој.

Отпорност на корозија: Облогата SiC има одлична отпорност на корозија и може да се спротивстави на ерозијата на хемиските гасови, продолжувајќи го работниот век на фиоката.

Топлинска спроводливост: Високата топлинска спроводливост на материјалот SiC обезбедува рамномерна температурна дистрибуција на обландата за време на загревањето, а со тоа го подобрува квалитетот на епитаксијалниот слој.

Усогласување на коефициентот на термичка експанзија: Коефициентот на термичка експанзија на SiC е сличен на оној на графитот, избегнувајќи го проблемот со опаѓање на облогата поради термичка експанзија и контракција.

Основни физички својства наEPI примател: