Поддржувач на барел од графит обложен со SiC за EPI

VeTek Semiconductor е кинески производител и добавувач кој главно произведува сенцептор за буре од графит обложен со SiC за EPI со долгогодишно искуство. Се надевам дека ќе изградиме деловни односи со вас. EPI (Epitaxy) е критичен процес во производството на напредни полупроводници. Тоа вклучува таложење на тенки слоеви материјал на подлогата за да се создадат сложени структури на уредот. Степенот за буре од графит обложен со SiC за EPI најчесто се користат како чувствителни во EPI реакторите поради нивната одлична топлинска спроводливост и отпорност на високи температури. Со CVD-SiC облогата, тој станува поотпорен на контаминација, ерозија и термички шок. Ова резултира со подолг животен век на сусцепторот и подобрен квалитет на филмот.

Предности на нашиот сенцептор за буре од графит обложен со SiC:

Намалена контаминација: Инертната природа на SiC спречува нечистотиите да се прилепуваат на површината на чувствителноста, намалувајќи го ризикот од контаминација на депонираните филмови.

Зголемена отпорност на ерозија: SiC е значително поотпорен на ерозија од конвенционалниот графит, што доведува до подолг животен век на сусцепторот.

Подобрена термичка стабилност: SiC има одлична топлинска спроводливост и може да издржи високи температури без значително изобличување.

Подобрен квалитет на филмот: Подобрената термичка стабилност и намалената контаминација резултираат со поквалитетни депонирани филмови со подобрена контрола на униформноста и дебелината.

Апликации:

Подлошките за буре од графит обложени со SiC се широко користени во различни EPI апликации, вклучувајќи:

LED диоди базирани на GaN

Енергетска електроника

Оптоелектронски уреди

Транзистори со висока фреквенција

Сензори

Параметар на производот на SiC обложениот графит за буриња на сусцептор

Забелешка: Пред обложување, ќе направиме прво прочистување, по обложување, ќе направиме второ прочистување.

Продавница за производство на полупроводници VeTek