VeTek Semiconductor е водечки SiC-обложен сусцептор за палачинки за производителот и иноватор на наполитанки LPE PE3061S 6" во Кина. Ние сме специјализирани за материјал за обложување на SiC многу години. Нудиме сензор за палачинки обложен со SiC дизајниран специјално за наполитанки LPE PE3061S 6" . Овој епитаксијален чувствител се карактеризира со висока отпорност на корозија, добри перформанси на спроводливост на топлина, добра униформност. Ве поздравуваме да ја посетите нашата фабрика во Кина.
Како професионален производител, VeTek Semiconductor би сакал да ви обезбеди висококвалитетен сусцептор за палачинки обложен со SiC за наполитанки LPE PE3061S 6''.
VeTeK Полупроводничкиот SiC обложен за палачинки за наполитанки LPE PE3061S 6" е критична опрема што се користи во процесите на производство на полупроводници.
Стабилност на висока температура: SiC покажува одлична стабилност на висока температура, одржувајќи ја својата структура и перформанси во средини со висока температура.
Извонредна топлинска спроводливост: SiC има исклучителна топлинска спроводливост, овозможувајќи брз и рамномерен пренос на топлина за брзо и рамномерно загревање.
Отпорност на корозија: SiC поседува одлична хемиска стабилност, отпорен на корозија и оксидација во различни средини за греење.
Униформна распределба на греењето: Носачот на обланда обложен со SiC обезбедува рамномерна распределба на греењето, обезбедувајќи рамномерна температура низ површината на обландата за време на загревањето.
Погоден за производство на полупроводници: Si epitaxy носачот на нафора е широко користен во процесите на производство на полупроводници, особено за раст на епитаксиите на Si и други процеси на загревање со висока температура.
Подобрена ефикасност на производството: Подлогата за палачинки обложена со SiC овозможува брзо и униформно загревање, намалувајќи го времето на загревање и зголемувајќи ја ефикасноста на производството.
Обезбеден квалитет на производот: Униформната дистрибуција на греење обезбедува конзистентност за време на обработката на обландата, што доведува до подобрен квалитет на производот.
Продолжен животен век на опремата: Материјалот SiC нуди одлична отпорност на топлина и хемиска стабилност, што придонесува за подолг животен век на подлогата за палачинки.
Приспособени решенија: сензорот обложен со SiC, носачот на обланда со епитаксии Si може да се прилагоди на различни големини и спецификации врз основа на барањата на клиентите.
Основни физички својства на CVD SiC облогата | |
Имотот | Типична вредност |
Кристална структура | FCC β фаза поликристална, главно (111) ориентирана |
Густина | 3,21 g/cm³ |
Цврстина | 2500 Викерс цврстина (оптоварување 500 g) |
Големина на жито | 2 ~ 10 μm |
Хемиска чистота | 99,99995% |
Топлински капацитет | 640 J·kg-1·K-1 |
Температура на сублимација | 2700 ℃ |
Јачина на свиткување | 415 MPa RT 4-точка |
Модулот на Јанг | 430 Gpa 4pt кривина, 1300℃ |
Топлинска спроводливост | 300W·m-1·K-1 |
Термичка експанзија (CTE) | 4,5×10-6K-1 |