CVD SiC суцептор за палачинки

Супериорни физички својства

Полупроводник VeTek CVD SiC Susceptor за палачинки е произведен со користење на најнова технологија за хемиско таложење на пареа (CVD) за да се обезбеди одлична издржливост и екстремна температурна приспособливост. Следниве се неговите главни физички својства:

● Термичка стабилност: Високата термичка стабилност на CVD SiC обезбедува стабилни перформанси при високи температурни услови.

● Низок коефициент на термичка експанзија: Материјалот има исклучително низок коефициент на термичка експанзија, што го минимизира искривувањето и деформацијата предизвикана од температурните промени.

● Отпорност на хемиска корозија: Одличната хемиска отпорност му овозможува да одржува високи перформанси во различни сурови средини.

Прецизна поддршка и оптимизиран пренос на топлина

VeTekSemi's SiC обложена врз основа на суцептор за палачинки е дизајнирана да прими полупроводнички наполитанки и да обезбеди одлична поддршка при епитаксијално таложење. SiC палачинки Susceptor е дизајниран со користење на напредна компјутерска симулациска технологија за да се минимизира искривувањето и деформацијата под различни услови на температура и притисок. Неговиот типичен коефициент на термичка експанзија е околу 4,0 × 10^^-6/°C, што значи дека неговата димензионална стабилност е значително подобра од традиционалните материјали во средини со висока температура, со што се обезбедува конзистентност на дебелината на обландата (обично 200 mm до 300 mm).

Покрај тоа, CVD Susceptor за палачинки е одличен во преносот на топлина, со топлинска спроводливост до 120 W/m·K. Оваа висока топлинска спроводливост може брзо и ефикасно да спроведе топлина, да ја подобри рамномерноста на температурата во печката, да обезбеди рамномерна дистрибуција на топлина за време на епитаксијално таложење и да ги намали дефектите на таложење предизвикани од нерамна топлина. Оптимизираните перформанси за пренос на топлина се клучни за подобрување на квалитетот на таложење, што може ефикасно да ги намали флуктуациите на процесот и да го подобри приносот.

Преку овие оптимизации на дизајнот и перформансите, CVD SiC Susceptor за палачинки на VeTek Semiconductor обезбедува цврста основа за производство на полупроводници, обезбедувајќи сигурност и конзистентност при тешки услови на обработка и исполнување на строгите барања на модерната полупроводничка индустрија за висока прецизност и квалитет.

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

Основни физички својства на CVD SiC облогата

Основни физички својства на CVD SiC облогата
Имотот	Типична вредност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, главно (111) ориентирана
Густина	3,21 g/cm³
Цврстина	2500 Викерс цврстина (оптоварување 500 g)
Големина на жито	2 ~ 10 μm
Хемиска чистота	99,99995%
Топлински капацитет	640 J·kg-1· К-1
Температура на сублимација	2700 ℃
Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
Модул на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
Топлинска спроводливост	300 W·m-1· К-1
Термичка експанзија (CTE)	4,5×10-6K-1