Порозен тантал карбид: Нова генерација на материјали за раст на SiC кристали

Со постепеното масовно производство на проводни подлоги на SiC, се поставуваат повисоки барања за стабилноста и повторливоста на процесот. Особено, контролата на дефекти, мали прилагодувања или наноси во термичкото поле во печката ќе доведе до промени во кристалот или зголемување на дефектите.

Во подоцнежната фаза, ќе се соочиме со предизвикот „да растеме побрзо, подебело и подолго“. Покрај подобрувањето на теоријата и инженерството, потребни се понапредни материјали за топлинско поле како поддршка. Користете напредни материјали за одгледување напредни кристали.

Неправилната употреба на материјали како што се графит, порозен графит и прав од тантал карбид во садот во термичко поле ќе доведе до дефекти како што се зголемени инклузии на јаглерод. Покрај тоа, во некои апликации, пропустливоста на порозниот графит не е доволна и треба да се отворат дополнителни дупки за да се зголеми пропустливоста. Порозниот графит со висока пропустливост се соочува со предизвици како што се обработка, губење на прав и офорт.

Неодамна, VeTek Semiconductor лансираше нова генерација на материјали за термичко поле со раст на SiC кристали,порозен тантал карбид, за прв пат во светот.

Тантал карбидот има висока јачина и цврстина, а уште потешко е да се направи порозен. Уште поголем предизвик е да се направи порозен тантал карбид со голема порозност и висока чистота. VeTek Semiconductor лансираше пробив порозен тантал карбид со голема порозност,со максимална порозност од 75%, достигнувајќи го меѓународното водечко ниво.

Покрај тоа, може да се користи за филтрација на компонентата во гасна фаза, прилагодување на локални температурни градиенти, водење на насоката на проток на материјалот, контролирање на истекување итн.; може да се комбинира со друг цврст тантал карбид (густ) или тантал карбид премаз на VeTek Semiconductor за да се формираат компоненти со различна локална спроводливост на протокот; некои компоненти може повторно да се користат.

Технички параметри

Порозност ≤75% Меѓународен водечки

Облик: снегулка, цилиндричен Меѓународен водечки

Еднообразна порозност

Полупроводничкиот порозен тантал карбид (TaC) на VeTek ги има следните карактеристики на производот

●   Порозност за разновидни апликации

Порозната структура на TaC обезбедува мултифункционалност, овозможувајќи нејзина употреба во специјализирани сценарија како што се:

Дифузија на гас: Олеснува прецизна контрола на протокот на гас во полупроводничките процеси.

Филтрација: Идеален за средини за кои е потребно одвојување на честички со високи перформанси.

Контролирана дисипација на топлина: Ефикасно управува со топлината во системи со висока температура, подобрувајќи ја целокупната термичка регулација.

●   Екстремна отпорност на високи температури

Со точка на топење од приближно 3.880°C, тантал карбид се истакнува во примената на ултра високи температури. Оваа исклучителна отпорност на топлина обезбедува постојани перформанси во услови кога повеќето материјали не успеваат.

●   Супериорна цврстина и издржливост

Рангирање од 9 до 10 на скалата на цврстина Мохс, слично на дијамантот, Porous TaC покажува неспоредлива отпорност на механичко абење, дури и при екстремен стрес. Оваа издржливост го прави идеален за апликации изложени на абразивни средини.

●   Исклучителна термичка стабилност

Тантал карбид го задржува својот структурен интегритет и перформанси при екстремна топлина. Неговата извонредна термичка стабилност обезбедува сигурна работа во индустрии кои бараат конзистентност на високи температури, како што се производството на полупроводници и воздушната.

●   Одлична топлинска спроводливост

И покрај неговата порозна природа, Porous TaC одржува ефикасен пренос на топлина, овозможувајќи негова употреба во системи каде што брзото дисипација на топлина е критично. Оваа карактеристика ја подобрува применливоста на материјалот во процесите интензивни на топлина.

●   Ниска термичка експанзија за димензионална стабилност

Со низок коефициент на термичка експанзија, Тантал карбид се спротивставува на димензионалните промени предизвикани од температурни флуктуации. Ова својство го минимизира термичкиот стрес, продолжувајќи го животниот век на компонентите и одржувајќи ја прецизноста во критичните системи.

Во производството на полупроводници, порозниот тантал карбид (TaC) ги игра следниве специфични клучни улоги

●  Во процесите на висока температура, како што се офорт со плазма и CVD, полупроводничкиот порозен тантал карбид на VeTek често се користи како заштитна обвивка за опремата за обработка. Ова се должи на силната отпорност на корозија на TaC Coating и неговата стабилност на висока температура. Овие својства гарантираат дека ефикасно ги штити површините изложени на реактивни гасови или екстремни температури, со што се обезбедува нормална реакција на процесите на висока температура.

●  Во процесите на дифузија, порозниот тантал карбид може да послужи како ефикасна дифузна бариера за да се спречи мешањето на материјалите во процесите на висока температура. Оваа карактеристика често се користи за контрола на дифузијата на допанти во процеси како што се имплантација на јони и контрола на чистотата на полупроводничките наполитанки.

●  Порозната структура на VeTek полупроводничкиот порозен тантал карбид е многу погодна за средини за обработка на полупроводници кои бараат прецизна контрола на протокот на гас или филтрација. Во овој процес, порозниот TaC главно ја игра улогата на филтрирање и дистрибуција на гас. Неговата хемиска инертност гарантира дека не се внесуваат загадувачи за време на процесот на филтрирање. Ова ефикасно ја гарантира чистотата на преработениот производ.

За VeTek Semiconductor

Како кинески професионален производител на порозен тантал карбид, добавувач, фабрика, ние имаме сопствена фабрика. Без разлика дали ви требаат приспособени услуги за да ги задоволите специфичните потреби на вашиот регион или сакате да купите напреден и издржлив порозен тантал карбид произведен во Кина, можете да ни оставите порака.

Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали заПорозен тантал карбид、Порозен графит обложен со тантал карбиди другиКомпоненти обложени со тантал карбид, ве молиме не двоумете се да стапите во контакт со нас.

☏☏☏Моб/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

☏☏☏Е-пошта: anny@veteksemi.com