Порозен графит обложен со тантал карбид

Порозен графит обложен со тантал карбид со полупроводник VeTek стана кристал на силициум карбид (SiC) поради неговата супер висока температурна отпорност (точка на топење околу 3880°C), одлична топлинска стабилност, механичка сила и хемиска инертност во средини со висока температура. Незаменлив материјал во процесот на растење. Особено, неговата порозна структура обезбедува многу технички предности запроцес на раст на кристалите. 

Следното е детална анализа наПорозен графит обложен со тантал карбидосновна улога:

● Подобрете ја ефикасноста на протокот на гас и прецизно контролирајте ги параметрите на процесот

Микропорозната структура на порозниот графит може да промовира рамномерна дистрибуција на реакционите гасови (како карбид гас и азот), со што се оптимизира атмосферата во зоната на реакција. Оваа карактеристика може ефикасно да ги избегне проблемите со локалната акумулација на гас или турбуленција, да осигури дека кристалите на SiC се подеднакво под стрес во текот на процесот на растење и стапката на дефект е значително намалена. Во исто време, порозната структура овозможува и прецизно прилагодување на градиентите на притисокот на гасот, дополнително оптимизирајќи ги стапките на раст на кристалите и подобрување на конзистентноста на производот.

●  Намалете ја акумулацијата на топлинскиот стрес и подобрување на интегритетот на кристалите

При операции на високи температури, еластичните својства на порозниот тантал карбид (TaC) значително ги ублажуваат концентрациите на термички стрес предизвикани од температурните разлики. Оваа способност е особено важна при одгледување на SiC кристали, со што се намалува ризикот од формирање на термички пукнатини, со што се подобрува интегритетот на кристалната структура и стабилноста на обработката.

●  Оптимизирајте ја дистрибуцијата на топлина и подобрете ја ефикасноста на искористувањето на енергијата

Облогата со тантал карбид не само што му дава на порозниот графит поголема топлинска спроводливост, туку и неговите порозни карактеристики може да ја распределат топлината рамномерно, обезбедувајќи високо конзистентна распределба на температурата во областа на реакцијата. Ова еднообразно термичко управување е основниот услов за производство на високо-чистотен SiC кристал. Исто така, може значително да ја подобри ефикасноста на греењето, да ја намали потрошувачката на енергија и да го направи процесот на производство поекономичен и поефикасен.

●  Зголемете ја отпорноста на корозија и го продолжите животниот век на компонентите

Гасовите и нуспроизводите во средини со висока температура (како водород или фаза на пареа на силициум карбид) може да предизвикаат сериозна корозија на материјалите. TaC облогата обезбедува одлична хемиска бариера за порозниот графит, значително ја намалува стапката на корозија на компонентата, а со тоа го продолжува нејзиниот животен век. Покрај тоа, облогата обезбедува долгорочна стабилност на порозната структура, осигурувајќи дека својствата за транспорт на гас не се засегнати.

●  Ефикасно ја блокира дифузијата на нечистотии и обезбедува кристална чистота

Необложената графитна матрица може да ослободи траги од нечистотии, а TaC Coating делува како изолациона бариера за да спречи овие нечистотии да се дифузираат во кристалот SiC во средина со висока температура. Овој заштитен ефект е од клучно значење за подобрување на чистотата на кристалите и помагање за исполнување на строгите барања на индустријата за полупроводници за висококвалитетни SiC материјали.

Порозниот графит обложен со тантал карбид на полупроводникот на VeTek значително ја подобрува ефикасноста на процесот и квалитетот на кристалите со оптимизирање на протокот на гас, намалување на топлинскиот стрес, подобрување на топлинската униформност, подобрување на отпорноста на корозија и инхибиција на дифузија на нечистотии за време на процесот на раст на кристалите SiC. Примената на овој материјал не само што обезбедува висока прецизност и чистота во производството, туку и значително ги намалува оперативните трошоци, што го прави важен столб во современото производство на полупроводници.

Уште поважно, VeTeksemi одамна е посветена на обезбедување напредна технологија и решенија за производи за индустријата за производство на полупроводници и поддржува приспособени услуги за производи од порозен графит обложен со тантал карбид. Искрено очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Физички својства на облогата со тантал карбид

Продавници за производство на полупроводнички тантал карбид обложен со порозен графит на VeTek