Што е облога со тантал карбид?

Тантал карбид (TaC) керамички материјал има точка на топење до 3880 ℃ и е соединение со висока точка на топење и добра хемиска стабилност. Може да одржува стабилни перформанси во средини со висока температура. Покрај тоа, тој исто така има отпорност на високи температури, отпорност на хемиска корозија и добра хемиска и механичка компатибилност со јаглеродни материјали, што го прави идеален материјал за заштитна обвивка на подлогата од графит. 

Облогата со тантал карбид може ефикасно да ги заштити компонентите на графитот од ефектите на врелиот амонијак, водород, силициумска пареа и стопен метал во тешки средини за употреба, значително продолжувајќи го работниот век на компонентите на графитот и потиснувајќи ја миграцијата на нечистотиите во графитот, обезбедувајќи го квалитетот наепитаксијаленираст на кристали.

Слика 1. Вообичаени компоненти обложени со тантал карбид

Хемиско таложење на пареа (CVD) е најзрел и најоптимален метод за производство на TaC облоги на графитни површини.

Користејќи TaCl5 и пропилен како извори на јаглерод и тантал, соодветно, и аргон како носечки гас, испаруваната пареа TaCl5 на висока температура се внесува во комората за реакција. На целната температура и притисок, пареата на материјалот претходник се адсорбира на површината на графитот, подложени на низа сложени хемиски реакции како што се распаѓање и комбинација на извори на јаглерод и тантал, како и низа површински реакции како што се дифузија и десорпција на нуспроизводи на претходникот. Конечно, на површината на графитот се формира густ заштитен слој, кој го штити графитот од стабилно постоење при екстремни еколошки услови и значително ги проширува сценаријата за примена на графитните материјали.

Слика 2.Принцип на процес на таложење на хемиска пареа (CVD).

Полупроводник VeTekглавно обезбедува производи од тантал карбид: водич прстен TaC, прстен со три ливчиња обложен со TaC, сад за обложување TaC, порозниот графит со TaC облоги се широко користени е процес на раст на кристалите SiC; TaC чувствителни облоги, планетарен сензор, TaC обложен сателитски чувствител, и овие производи за обложување на тантал карбид се широко користени воПроцес на епитаксија на SiCиПроцес на раст на SiC со еден кристал.

Слика 3.ВеТek Најпопуларните производи за обложување на тантал карбид на полупроводници