Носач за чамци со нафора со висока чистота SiC

VeTek Semiconductor нуди прилагоден носач за чамци со нафора со висока чистота SiC. Направен од силициум карбид со висока чистота, има слотови за држење на нафората на место, спречувајќи ја да се лизга за време на обработката. Доколку е потребно, достапен е и CVD SiC слој. Како професионален и силен производител и добавувач на полупроводници, носачот за чамци со нафора со висока чистота SiC на VeTek Semiconductor е конкурентен по цена и висок квалитет. VeTek Semiconductor со нетрпение очекува да биде ваш долгорочен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

VeTekSemi Носачот за чамци со нафора со висока чистота SiC е важна компонента за лежиште што се користи во печки за жарење, дифузни печки и друга опрема во процесот на производство на полупроводници. Носачот за чамци со нафора со висока чистота SiC обично е направен од материјал со силициум карбид со висока чистота и главно ги вклучува следните делови:

• Тело за поддршка на чамецот: структура слична на држач, специјално користена за носењесиликонски наполитанкиили други полупроводнички материјали.

• Структура за поддршка: Дизајнот на неговата потпорна структура му овозможува да поднесува тешки товари при високи температури и нема да се деформира или оштетува при обработка на висока температура.

silicon carbide material

материјал од силициум карбид

Физичките својства наРекристализиран силициум карбид：

Имотот	Типична вредност
Работна температура (°C)	1600°C (со кислород), 1700°C (редуцирачка средина)
Содржина на SiC	> 99,96%
Бесплатна Si содржина	< 0,1%
Масовна густина	2,60-2,70 g/cm3
Очигледна порозност	< 16%
Јачина на компресија	> 600 MPa
Јачина на ладно свиткување	80-90 MPa (20°C)
Топла сила на свиткување	90-100 MPa (1400°C)
Термичка експанзија @1500°C	4,70*10^-6/°C
Топлинска спроводливост @1200°C	23 W/m•K
Еластичен модул	Модул на еластичност 240 GPa
Отпорност на термички шок	Исклучително добро

Доколку барањата за производниот процес се повисоки,CVD SiC облогаможе да се изведе на носачот за чамци со обланда со висока чистота SiC за да се направи чистотата да достигне повеќе од 99,99995%, дополнително подобрување на неговата отпорност на високи температури.

Основни физички својства на CVD SiC облогата:

Имотот	Типична вредност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, главно (111) ориентирана
Густина	3,21 g/cm³
Цврстина	2500 Викерс цврстина (оптоварување 500 g)
Големина на жито	2 ~ 10 μm
Хемиска чистота	99,99995%
Топлински капацитет	640 J·kg^-1· К^-1
Температура на сублимација	2700 ℃
Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
Модулот на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
Топлинска спроводливост	300 W·m^-1· К^-1
Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1

За време на обработката со висока температура, носачот за чамци со обланда со висока чистота SiC овозможува рамномерно загревање на силиконската обланда за да се избегне локално прегревање. Покрај тоа, високата температурна отпорност на материјалот од силициум карбид му овозможува да одржува структурна стабилност на температури од 1200°C или дури и повисоки. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

За време на процесот на дифузија или жарење, лопатката со конзола и носачот на чамци со нафора со висока чистота SiC работат заедно. Наконзола лопаткаполека го турка носачот на чамци со обланда со висока чистота SiC што ја носи силиконската обланда во комората на печката и ја запира на одредена позиција за обработка.

Носачот за чамци со обланда со висока чистота SiC одржува контакт со силиконската обланда и е фиксиран во одредена положба за време на процесот на термичка обработка, додека лопатката со конзола помага да се задржи целата структура во вистинската положба, а истовремено да се обезбеди рамномерност на температурата.

Носачот за чамци со нафора со висока чистота SiC и лопатката со конзола работат заедно за да се обезбеди точност и стабилност на процесот на висока температура.

Полупроводник VeTekви обезбедува прилагоден носач за чамци со нафора со висока чистота SiC според вашите потреби. Со нетрпение го очекуваме вашето барање.

Полупроводник VeTekПродавници за превозници со чамци со нафора со висока чистота:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Жешки тагови: Носач за чамци со нафора со висока чистота SiC, Кина, производител, добавувач, фабрика, приспособен, купи, напреден, издржлив, произведен во Кина

Ознака на производот

Поврзана категорија