SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

VeTek Semiconductor е водечки производител и снабдувач на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD во Кина, специјализиран за апликации за обложување на SiC и епитаксијални полупроводнички производи за индустријата за полупроводници. Нашите графитни сензори обложени MOCVD SiC нудат конкурентен квалитет и цени, опслужувајќи ги пазарите низ Европа и Америка. Посветени сме да станеме ваш долгорочен, доверлив партнер во унапредувањето на производството на полупроводници.

Испрати барање

Опис на производот

VeTek Semiconductor's SiC обложен графит сусцептор за MOCVD е носач на графит со висока чистота обложен со SiC, специјално дизајниран за раст на епитаксијален слој на чипови на нафора. Како централна компонента во обработката на MOCVD, вообичаено обликувана како запчаник или прстен, може да се пофали со исклучителна отпорност на топлина и отпорност на корозија, обезбедувајќи стабилност во екстремни средини.

Клучни карактеристики на MOCVD SiC обложениот графит сусцептор:

● Слој отпорен на снегулки: Обезбедува рамномерно покривање со SiC облога на сите површини, намалувајќи го ризикот од одвојување честички

● Одличен отпор на оксидација на високи температуриce: Останува стабилен на температури до 1600°C

● Висока чистота: Произведен преку хемиско таложење на пареа CVD, погодно за услови на хлорирање на висока температура

● Супериорна отпорност на корозија: Високо отпорен на киселини, алкалии, соли и органски реагенси

● Оптимизирана шема на ламинарен проток на воздух: Ја подобрува униформноста на динамиката на протокот на воздух

● Еднообразна топлинска распределба: Обезбедува стабилна дистрибуција на топлина при процеси на висока температура

● Спречување на контаминација: Спречува дифузија на загадувачи или нечистотии, обезбедувајќи чистота на нафората

Во VeTek Semiconductor, ние се придржуваме до строги стандарди за квалитет, обезбедувајќи сигурни производи и услуги за нашите клиенти. Избираме само врвни материјали, стремејќи се да ги исполниме и надминеме барањата за изведба на индустријата. Нашиот SiC обложен графит сусцептор за MOCVD е пример за оваа посветеност на квалитетот. Контактирајте со нас за да дознаете повеќе за тоа како можеме да ги поддржиме вашите потреби за обработка на полупроводнички нафора.

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА:

SEM DATA OF CVD SIC FILM

Основни физички својства на CVD SiC облогата:

Основни физички својства на CVD SiC облогата
Имотот	Типична вредност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, главно (111) ориентирана
Густина	3,21 g/cm³
Цврстина	2500 Викерс цврстина (оптоварување 500 g)
Големина на зрно	2 ~ 10 μm
Хемиска чистота	99,99995%
Топлински капацитет	640 J·kg^-1· К^-1
Температура на сублимација	2700 ℃
Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
Модулот на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
Топлинска спроводливост	300 W·m^-1· К^-1
Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Полупроводник VeTek MOCVD Рецептор за графит обложен со SiC:

VeTekSemi MOCVD SiC Coated Graphite Susceptor

Жешки тагови: SiC обложен графит сусцептор за MOCVD, Кина, производител, добавувач, фабрика, приспособен, купи, напреден, издржлив, произведен во Кина

Ознака на производот

Поврзана категорија