CVD SiC облога Епитакси чувствител

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor на VeTek Semiconductor е прецизно дизајнирана алатка дизајнирана за ракување и обработка на полупроводнички нафора. Овој SiC облоги Epitaxy Susceptor игра витална улога во промовирањето на растот на тенки филмови, епислој и други облоги и може прецизно да ја контролира температурата и својствата на материјалот. Добредојдовте на вашите дополнителни прашања.

Испрати барање

Опис на производот

CVD SiC облога Epitaxy Susceptor е еден вид наMOCVD LED Епи суцептор, кој игра централна улога во CVD реакторот. Како Epi Susceptor, тој не е само извор на топлина, туку обезбедува и стабилна платформа за поддршка на подлогата за време на процесот на таложење.SiC облогаможе ефикасно да ја намали оксидацијата и контаминацијата на Graphite Susceptor во средини со висока температура, со што се обезбедува висока чистота на депонираниот материјал.

Основнифизички својства на CVD SiC облогата:

Основни физички својства на CVD SiC облогата
Имотот	Типична вредност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, главно (111) ориентирана
Густина	3,21 g/cm³
Цврстина	2500 Викерс цврстина (оптоварување 500 g)
Големина на зрно	2 ~ 10 μm
Хемиска чистота	99,99995%
Топлински капацитет	640 J·kg^-1· К^-1
Температура на сублимација	2700 ℃
Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
Модулот на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
Топлинска спроводливост	300 W·m^-1· К^-1
Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Предности на производот на Epitaxy Susceptor за обложување CVD SiC:

● Прецизно таложење: Со CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor, можете да постигнете прецизно контролирано таложење на тенки слоеви и облоги за да добиете висококвалитетни и повторливи резултати.

● Намалена контаминација: SiC облогата го минимизира ризикот од контаминација одЕпи суцепторбазиран графит, обезбедувајќи чистота на депонираниот материјал.

● Трајност: Облогата со SiC ја подобрува отпорноста на оксидација и отпорноста на хемиска корозија на Graphite Epitaxy Susceptor, давајќи му подолг работен век и поголема доверливост.

Полупроводник VeTekе посветен на обезбедување производи со висок квалитет и конкурентни цени. Без разлика дали е тоаДоколку EPI ресиверотили Graphite EPI Susceptor со висока чистота, можеме да ги задоволиме вашите потреби. Со нетрпение очекуваме да бидеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Полупроводник VeTekCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Продавници за производи: