ALD споен кварцен пиедестал

VeTek Semiconductor ALD Fused кварцниот пиедестал игра клучна улога во процесот на производство на полупроводници како потпорна структура закварцен брод, кој се користи за држење нанафора. Споениот кварцен пиедестал помага да се постигне еднообразно таложење на филмот со одржување на стабилна температура, што директно влијае на перформансите и сигурноста на полупроводничките уреди. Покрај тоа, кварцниот пиедестал обезбедува рамномерна дистрибуција на топлина и светлина во комората за процесирање, а со тоа го подобрува севкупниот квалитет на процесот на таложење.

Предности на материјалот од фузиран кварцен постамент ALD

Отпорност на високи температури: Точката на омекнување на сплотениот кварцен постамент е висока околу 1730°C и може да издржи работа на високи температури од 1100°C до 1250°C долго време и може да биде изложен на екстремни температурни средини до 1450°C за кратко време.

Одлична отпорност на корозија: Стопениот кварц е високо хемиски инертен за речиси сите киселини освен флуороводородна киселина. Неговата отпорност на киселина е 30 пати поголема од керамиката и 150 пати поголема од нерѓосувачкиот челик. Стопениот кварц е хемиски неспоредлив на високи температури, што го прави идеален материјал за сложени хемиски процеси.

Термичка стабилност: Клучна карактеристика на материјалот од фузиран кварцен пиедестал е неговиот исклучително низок коефициент на термичка експанзија. Ова значи дека лесно може да се справи со драматичните температурни флуктуации без да пука. На пример, фузиран силициум кварц може брзо да се загрее до 1100°C и да се потопува директно во ладна вода без оштетување, што е важна карактеристика во услови на производство со висок стрес.

Ригорозен процес на производство: Процесот на производство на постаменти од сплотена силика строго се придржува до високи стандарди за квалитет. Процесот на производство користи процеси на топло формирање и заварување, кои обично се завршуваат во средина со чисти простории од класа 10.000. Потоа, постаментот од сплотено кварцен стакло се чисти темелно со ултрачиста вода (18 MΩ) за да се обезбеди чистота на производот и оптимални перформанси. Секој готов производ е ригорозно проверен, исчистен и спакуван во чиста соба од класа 1.000 или повисока за да ги исполни високите стандарди на индустријата за полупроводници.

Непроѕирен силика кварцен материјал со висока чистота

VeTeksemi ALD фузиран кварцен пиедестал користи непроѕирен кварцен материјал со висока чистота за ефикасно изолирање на топлина и светлина. Неговите одлични својства за заштита од топлина и светлосни заштитни својства му овозможуваат да одржува рамномерна распределба на температурата во комората за процесирање, обезбедувајќи униформност и конзистентност на тенкитеталожење на филмотна површината на обландата.

Полиња за апликација

Споените кварцни постаменти се широко користени во многу области на полупроводничката индустрија поради нивните одлични перформанси. Вопроцес на таложење на атомски слој (ALD)., поддржува прецизна контрола на растот на филмот и обезбедува унапредување на полупроводничките уреди. Вопроцес на хемиско таложење на пареа со низок притисок (LPCVD)., термичката стабилност и светлосната заштитна способност на кварцниот пиедестал со висока чистота обезбедуваат гаранции за рамномерно таложење на тенки фолии, со што се подобруваат перформансите и издашноста на уредот.

Дополнително, во процесот на дифузија на нафора, високата температура и отпорноста на хемиска корозија на фузиран кварцен пиедестал обезбедуваат сигурност и конзистентност на процесот на допинг на полупроводнички материјал. Овие клучни процеси ги одредуваат електричните перформанси на полупроводничките уреди, а висококвалитетните споени кварцни материјали играат незаменлива улога во постигнувањето на најдобри резултати од овие процеси.

Продавници на VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal: